판매용 중고 SHIBAURA ICE 300 / CDE 300 #9097207

SHIBAURA ICE 300/CDE 300 etcher/asher는 최대 300mm 크기의 기판 표면을 정확하고 빠르게 처리하는 고성능 자동 패턴 장비입니다. 이 모델은 최대 5 미크론의 매우 높은 해상도를 생성 할 수 있습니다. 다양한 공정 화학 물질을 수용할 수있는 강력한 모듈 식 소프트웨어 제어 에칭 시스템 (etching system) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 쿼츠, 집적 회로를위한 기판, 불균일 한 지형이있는 모 놀리 식 기판을 포함한 복잡한 기판을 지원하도록 설계되었습니다. ICE 300/CDE 300에는 고정밀 로봇 암, 기판 표면을 청소하기위한 정교한 스크러버, 고주파 초음파 발전기 등 여러 기능이 제공됩니다. 자동화된 암은 나노 미터 정확도로 에처 (etcher) 위에 기판을 정확하게 배치 할 수있다. 강력한 스크러버 (scrubber) 는 기판 표면에서 매우 얇은 재료 층을 제거 할 수 있으므로 패턴 처리 (patterning process) 에서 원활하게 전환할 수 있습니다. 고주파 초음파 발생기는 일관되고 균일 한 에칭 깊이를 보장합니다. SHIBAURA ICE 300/CDE 300은 강력한 모션 제어 소프트웨어를 사용하여 에치 깊이 및 배치, 온도, 농도 및 시간과 같은 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 사용자가 이웃 패턴 간의 공간 차이를 디지털로 미리 보고 제어할 수 있습니다. 다른 소프트웨어 제어 기능으로는 기판 처리 연구, 테스트 폴링 및 데이터 모니터링이 있습니다. 이들은 장치 가동 중지 시간을 줄이고 처리량을 최적화하기 위해 설계되었습니다. ICE 300/CDE 300 은 또한 다양한 안전 프로토콜을 사용하여 안전하고 안정적인 방식으로 작동하는지 확인합니다. 여기에는 CO2 및 HF 농도를 모두 모니터링하는 배기 프로탈람 머신이 포함됩니다. 전류 누출을 모니터링하는 지상 결함 보호 툴 (ground fault protection tool) 과 조작자 오해를 방지하는 man-machine interlock 에셋 (man-machine interlock asset) 이 있습니다. SHIBAURA ICE 300/CDE 300은 습식 에칭, 건식 에칭 등 다양한 공정 기술을 지원하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 매우 정확하고 빠른 처리 속도로 고정밀 패턴화 기능을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 모든 기능을 정확하고 효율적으로 제어할 수 있으며 다양한 안전 프로토콜을 제공하는 강력한 소프트웨어 모델에 의해 지원됩니다. 고급 기능을 갖춘 이 머신은 매우 안정적이고 비용 효율적인 (patterning) 서비스 솔루션입니다.