판매용 중고 SHIBAURA CDE 7-3A #9226076

SHIBAURA CDE 7-3A는 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 플라즈마 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장치에는 12 인치 직경 터보 펌프가 장착되어 있으며 최대 에칭/애싱 속도는 100nm/min입니다. 또한 13.56MHz 주파수에서 1 ~ 600W 전력을 공급하는 저소음 RF 전원이 장착되어 있습니다. 또한, CDE 7-3A는 내부 공간이 11 인치 -L x 7.5 인치 -W x 7.5 인치 -H 인 진공 챔버를 특징으로하며 10-4 Pa.의 진공 환경 내에서 작동 할 수 있습니다. 이 장치에는 가스 투약 및 공급 시스템이 포함되어 있습니다. 반응 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 저소음 RF 전원, 가스 투여 및 공급 시스템, 터보 펌프 (Turbo Pump) 의 조합으로 정밀 에칭 및 재싱이 가능합니다. SHIBAURA CDE 7-3A에는 가변 압력 센서, 과립 방패 및 다양한 가열 요소가 있으며, 이는 최적의 압력을 선택하고, 2 차 반응을 억제하고, 각각 고온을 달성 할 수 있습니다. 또한, 장치에는 레시피와 프로세스 조건을 저장하는 메모리가 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 레시피 메모리 외에 처리 매개변수를 제어하는 데 사용되는 직관적인 LCD 터치 스크린의 장점도 제공합니다. 전반적으로 CDE 7-3A는 최대 에칭/애싱 속도가 100nm/min, 최대 작동 압력이 10-4 Pa 인 에칭 및 애싱 재료를위한 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공합니다.