판매용 중고 SHIBAURA CDE 7-3A #9226075

SHIBAURA CDE 7-3A는 신뢰성이 높고 다재다능한 에칭 및 애싱 장비입니다. 장치 마이크로패브라이션 (microfabrication) 의 품질과 수율을 향상시키기 위해 안정적이고 효율적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다. 이 시스템은 최대 25 미크론 두께의 여러 레이어 재료를 처리 할 수 있습니다. 2 개의 픽셀 매핑 기술, Fast Scan Spot 1 Micro-Fabrication 및 Fast Scan Spot 2 High Precision Patterning이 장착되어 있습니다. CDE 7-3A 는 사용이 간편한 장치로, 단일 설치 기능을 제공하여 생산성을 크게 향상시킵니다. 이 기계에는 프로세스 단계가 반복되면 자동 순차 에칭 (sequential etching) 및 애싱 (ashing) 이 가능한 자동 드라이브 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 사용자가 선택할 수 있는 (User Selectable) 기능을 제공하여 각 레이어에 대해 가장 효과적인 매개변수를 선택할 수 있습니다. SHIBAURA CDE 7-3A에는 프로세스 단계와 매개변수를 표시하는 터치 스크린 컬러 모니터도 있습니다. 사용자 친화적인 이 기능을 사용하면 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 작업을 단순화하고 제어할 수 있습니다. 또한, 에칭 된 기판을위한 자동 급지대가 포함되어 있어, 고품질 및 처리량을 허용합니다. 전원 요구 사항 측면에서 CDE 7-3A에는 AC 또는 DC 전압을 사용하는 3 상 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 이 도구는 에칭을 위해 직접 드라이브 마이크로 웨이브 플라즈마 소스와 애싱 공정을 위해 고전압 DC 플라즈마 소스를 사용합니다. 이 전원의 조합은 기판 재료 및 레이어 두께와 무관한 높은 에칭 정밀도 (etching precision) 를 산출합니다. SHIBAURA CDE 7-3A는 고품질 장치 생산에 이상적인 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 에셋입니다. "에칭 (etching) '과" 애싱 (ashing)' (ashing) 공정을 매우 효율적으로 하기 위한 고급 기능이 탑재되어 있어 가장 정밀하고 정확성을 보장할 수 있는 다양한 전원이 제공됩니다. 또한, 터치스크린 모니터를 통해 간단한 설정 및 제어 작업이 가능하며, 자동 급지대 (Auto-Feeder) 는 높은 수준의 처리량으로 높은 품질을 보장합니다.