판매용 중고 SHIBAURA BM-1400PC #190674

제조사
SHIBAURA
모델
BM-1400PC
ID: 190674
웨이퍼 크기: 8"
Photo Catalyst (Hydrophilic Mirror) Sputtering System, 8" Specifications: Single-wafer load lock Supports wafers up to a maximum of 8" (5) processing chambers (Sio2: 2 layer, Tio2: 2 layer Inverse sputtering with our original cup gun method Heating unit included Wafer size is 265 mm, Effective real coating diameter is 248 mm Coating uniformity: ±4% Vacuum pump: TMP (Turbo Molecular Pump) and Rotary Pump Mass flow control: MFC and Flow check Main configuration: Sputter Chamber: SiO2 + TiO2 + Sio2 (Total working chambers: 6) Heating Chamber, Loading, unloading, Control panel, Utility Gauge, Panel, Emergency Button Sputtering chamber configuration: Cooling Plate Magnet Target: Reactive magnetron, Oxygen Sputter Chamber Heating chamber configuration: IR lamp heater Upper and lower heater Control panel: Main breaker Emergency SW Interlock release Plug Vacuum gauge Pirani Gauge (1, 2, 3; H, M, Low vacuum check) Bourdons Vacuum Gauge Pulse generator: Power Supply: DC: 16 ea Power Breaker: 16 pcs.
시바 우라 BM-1400PC (SHIBAURA BM-1400PC) 는 유리, 금속, 플라스틱과 같은 고정밀 소재로, 가장 크고 복잡한 프로젝트의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. BM-1400PC 는 고유한 고정밀 (high-precision) 패턴화 기능을 통해 가장 특정한 세부적인 작업에 적합합니다. 최신 구성 요소, 내장 소프트웨어, 센서 및 자동화가 특징입니다. 정확한 워크플로우 관리 기능과 함께, SHIBAURA BM-1400PC는 고유하고 복잡한 패턴을 만드는 데 탁월한 솔루션입니다. BM-1400PC는 강력한 금 도금 기판으로 제작되었으며, 고급 웨이퍼 처리 시스템에 연결됩니다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 매우 안정적이며 처리 주기 내내 매우 일관된 환경을 제공하여 에칭 정확도를 더욱 향상시킵니다. 첨단 온도 및 흐름 제어 시스템은 저열 (low-heat) 및 고열 (high-heat) 어플리케이션의 요구 사항을 모두 충족시킬 수있는 일관된 결과를 제공합니다. 공랭식 기판은 자동화 및 소프트웨어와 함께 화학이 적고 품질이 높은 에칭 (etching) 을 허용합니다. SHIBAURA BM-1400PC는 광범위한 화학 에친트와 호환되며, 에찬트 농도, 유체 유속, 온도 및 pH를 포함한 매개변수를 조절 할 수 있습니다. 또한 안전 시스템을 설계하여 에칭 프로세스 동안 최대 안전성을 보장합니다. 또한 데이터 수집/분석 기능을 비롯하여 고효율의 워크플로우 스케줄링, 유휴 시간/자원 관리 기능을 제공합니다. 또한 BM-1400PC는 RIE (reactive ion etching) 를 수행하고 증착, 에칭, 전원 공급 장치, 가스 등과 같은 다양한 에칭 결과를 위해 다양한 가스를 지원할 수 있습니다. 이 기계에는 풀 컬러 10.4 "LCD 디스플레이가 있으며 스테인레스 스틸 캐비닛, 냉각 분석 시스템, 기타 부품 등 다양한 액세서리를 제공합니다. 전반적으로 SHIBAURA BM-1400PC는 강력하고, 고급 에처 (etcher) 이며, 다양한 재료에 복잡한 패턴을 만드는 데 이상적입니다. 정밀하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공할 수 있으며, 프로젝트 (Project) 가 가능한 한 가장 높은 표준에 도달하도록 도와줍니다.
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