판매용 중고 SHIBAURA µASH 8100 #9236731

SHIBAURA µASH 8100
제조사
SHIBAURA
모델
µASH 8100
ID: 9236731
웨이퍼 크기: 8"
Systems, 8" (2) Chambers.
SHIBAURA 실버 ASH 8100은 포토 마스크 생산을 위해 설계된 고정밀 에처이자 애셔입니다. 이 기계는 회로, 접촉 구멍, 정렬 표시 등의 에칭/애싱 (etching/ashing) 요구 사항에서 탁월한 성능을 발휘하기 위해 선도적인 IC 제조업체에 의해 신뢰됩니다. EASH 8100은 에칭/애싱 작업에서 탁월한 성능과 정확성을 제공하는 고정밀 구성 요소를 제공합니다. 최대 용량은 최대 12 웨이퍼/시간이며 최대 정확도는 100발입니다. 또한 고급 진공 (advanced vacuum) 기술을 사용하여 에칭/애싱 작업 중 높은 수준의 청결을 유지합니다. SHIBAURA µASH 8100은 직관적인 사용자 친화적 인터페이스를 통해 손쉬운 작동과 정확성을 보장합니다. 컨트롤러를 통해 사용자는 주기 시간, 작업 압력, 노출 시간 등과 같은 에칭/애싱 (etching/ashing) 설정을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 컨트롤러에는 에칭/어싱 프로세스의 문제를 식별하는 자체 진단 기능이 내장되어 있습니다. 그 기계 는 여러 가지 안전 대책 을 갖추었는데, 이 대책 은 "운용자 '와 장비 를 위험 으로부터 보호 해 준다. 또한, serverASH 8100에는 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 웨이퍼를 마스크에 맞게 자동으로 정렬하는 자동 웨이퍼 매핑 기능이 있습니다. 또한 에칭/애싱 (etching/ashing) 작업 중 지속적인 온도를 보장하는 자동 온도 조절 시스템이 특징입니다. 다양한 금속, 실리콘, 흑연, 석영 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 SHIBAURA 실버 애쉬 8100 (ASH 8100) 은 고급 자동화 기능을 제공하여 롤러 제어 시스템을 사용하여 프로그래밍하는 것이 더 간단합니다. 이 장치에는 또한 모든 유형의 패턴을 정확하게 에칭/애싱 (etching/ashing) 할 수있는 스프로켓 제어 메커니즘이 포함되어 있습니다. 전반적으로, serverASH 8100은 안정적이고 효율적이며 정확한 고급 에칭/애싱 시스템입니다. 고정밀도 및 자동 기능을 통해 탁월한 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 추구하는 IC 제조업체에 적합한 툴입니다.
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