판매용 중고 SHIBAURA µASH 8100 #9234516
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ID: 9234516
웨이퍼 크기: 8"
System, 8"
(2) Chambers
Processing type: Vacuum
Mass flow controller (MFC):
Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM)
Gas 1 / O2 / 2000
Gas 2 / O2 / 2000
Gas 3 / CF4 / 20
Gas 4 / CF4 / 20
Gauge:
MKS Baratron 626A
Range: 1.333kPa
NS FFU-222 System
DAIHEN CMC-10 Tuning control
DAIHEN SGP-10B RF Generator
DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA 되어 있는 "애쉬 8100 '은 적외선 방사선 및 방사선 흥분 기법 을 사용 하여 여러 가지 물질 의 동시 에칭 및 재 를 제공 하는 에칭 및 애싱 장비 이다. 이 시스템은 적외선에서 약 200nm (약 200nm) 까지 배출이 취약하며, 이는 광범위한 무기 및 유기 물질을 에치 (etch) 하고 애셔하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치는 일반적으로 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에 사용되는 방사선의 정확한 초점을 설정하기 위해 5 분 미만의 정렬 시간이 필요하며, 매우 효율적인 프로세스를 제공합니다. 1 월 8100 호기는 5x5 cm 의 더 큰 면적에서 최대 35000 nm/min에 도달 할 수있는 매우 빠른 에칭 속도를 가지고 있으며, 보다 빠르고 정확한 에칭 및 애싱 시간을 허용합니다. 그 에 더하여, 기계 는 표적 지역 에 부가적 인 "가스 '를 적용 할 수 있으므로, 처리 되는 물질 에 대한 보다 정확 하고 정확 한" 에칭' 제어 를 가능 하게 한다. SHIBAURA 대역 ASH 8100 의 제어는 제어 캐비닛에 연결된 PC 를 통해 제공됩니다. 이를 통해 사용자는 원하는 작업 매개변수 (예: 에칭 및 애싱 시간, 온도, 챔버 압력) 를 설정할 수 있습니다. 또한 이 툴에는 원격 액세스 기능 (Remote Access Feature) 이 있어 기술자가 자산 성능을 원격으로 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 뛰어난 수준의 진단 기능을 제공할 수 있습니다. SASH 8100은 서라운드 신호 장비 (Surround Signal Equipment) 로 알려진 안전 모델로 제작되어 방사선 및 기타 유해 가스로부터 사용자의 보호를 보장합니다. 또한, 시스템은 작업 챔버의 순도를 보장하는 다중 단계 사전 필터 장치 (multi-stage pre-filter unit) 와 현재 작업 매개변수를 명확하게 보는 LED 디스플레이 (LED display) 를 포함합니다. 이 기계는 설치, 운영, 유지 보수 등에 대한 포괄적인 지침을 제공하는 설명서를 제공합니다. 이 설명서는 간단하고 간단합니다. 또한 자세한 다이어그램, 부품 다이어그램, 서비스 정보 등을 제공합니다. SHIBAURA 실습 8100 (ASH 8100) 은 연구, 개발 및 생산 목적으로 재료를 빠르게 에치 또는 에치 (ashe) 하려는 사용자에게 이상적인 도구입니다. 빠른 에치 속도 (etch rate), 원격 모니터링 및 제어 기능을 통해 많은 응용 프로그램의 재료를 효율적이고 효과적으로 수정할 수 있습니다.
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