판매용 중고 SEZ SP 201 #293821357

SEZ SP 201은 SEZ Group에서 제조 한 etcher/asher입니다. 반도체· 자동차산업의 소형· 중형 웨이퍼와 기판을 모두 에칭· 돌파하는 데 이상적이다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 덕분에 기계의 크기가 작고 사용이 간편합니다. SP 201 의 차원은 1000 x 600 mm 이며 온도 범위는 20 ° C ~ 350 ° C입니다. 최대 프로세스 면적은 17 x 17mm입니다. 기계는 최대 에칭 속도 (초당 70mm) 와 최소 에칭 속도 (초당 5mm) 가 가능합니다. 또한 최대 기판 크기 250 x 250 mm를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 4 개의 브러시리스 (brushless) 모터로 구동되며 로드록 챔버, 압력 센서 및 통합 가스 전달 장비가 장착되어 있습니다. 또한 기본 제공되는 압력 제어, 실시간 O 2 및 CO 2 측정 및 전용 발전기의 O 2 공급이 제공됩니다. SEZ SP 201에는 PC 기반 소프트웨어 제어 시스템과 산업 통신 인터페이스가 장착되어 있습니다. 고급 ROS 품질 제어 및 웨이퍼 수율 최적화 장치도 포함되어 있습니다. 기계는 짧은 주기 작업 및 온도 제어 임계 에칭을 수행합니다. 또한 고급 검사 도구뿐만 아니라 정확한 위치 지정 (positioning) 및 꾸준한 프로세스 제어 기능도 갖추고 있습니다. 또한 SP 201 의 고급 안전 기능을 통해 프로세스 환경을 보호할 수 있습니다. 여기에는 활성 열 센서, 공기 셔터 기능이있는 공기 청정기, 배기 팬 시스템이 포함됩니다. 이 기계에는 자동화된 비전 머신 (vision machine) 과 같은 프로세스 도구를 통합하는 기능이 있는 개방형 플랫폼이 있습니다. 전반적으로 SEZ SP 201은 반도체 및 자동차 산업에서 안정적이고 비용 효율적인 etcher/asher입니다. 고급 안전 기능으로 에칭 (etching) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 최적화된 장기 에칭 성능 및 프로세스 안정성을 제공합니다.