판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9276828

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 은 반도체 및 광전자 장치 제조에서 정확하고 효율적인 에칭 및 애싱 요구 사항을 위해 설계된 고급 자동 etcher/asher입니다. 그것은 3 구역 확산 동력 산소 플라즈마 소스를 사용하여 훨씬 더 큰 에칭/애싱 효율을 제공합니다. 또한, 장비는 조정 가능한 반응성 종 (reactive species) 농도를 제공 할 수 있으며, 에칭/애싱 작동 및 종료 결과를 더 잘 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 Asher/Etcher 모듈, 네트워크 컨트롤러 및 진공 챔버, 드로우 바, 스프레이 온 시약 관리 장치, 인터페이스 카드, 전원 공급 장치 및 진공 펌프와 같은 다양한 구성 요소로 구성됩니다. Asher/Etcher 모듈은 산소 플라즈마 소스를 확산 및 해리력으로 사용하여 플라즈마를 제공 할 책임이 있습니다. SEZ SP 4300 을 작동시키기 위해 진공실은 원하는 가스 (예: asargon, xenon 또는 oxygen) 로 채워집니다. 그런 다음, 반응성 이온화 된 가스가 챔버로 들어와, 그 후 플라즈마가 도입 된 독점적 인 RF 파워 앰프를 만나게됩니다. 이 "플라즈마 '는 상공 에 균일 하게 분포 되는 균질 한" 필드' 를 만들어 정밀 한 "에칭 '과" 애싱' 작용 을 할 수 있게 한다. 네트워크 컨트롤러는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 제어하기 위한 사용자 인터페이스 및 소프트웨어를 제공합니다. LAM RESEARCH SP 4300은 작동 요구 사항에 따라 드라이 에칭 (dry etching) 및 습식 에칭 (wet etching) 절차와 화학 및 가스 공정을 모두 생성 할 수 있습니다. 또한, 원하는 프로세스 농도를 반복 가능하고 정확하게 조정 할 수있는 4 단계 가스 전달 머신 (gas delivery machine) 이 특징입니다. 또한, 이 도구는 다양한 조정 가능한 운영 매개변수 (operating parameter) 를 자랑하여 뛰어난 유연성을 제공합니다. 결론적으로, SP 4300 은 반도체 및 광전자 제작의 정확하고 효과적인 자동 에칭 및 애싱 작업을 위해 설계된 강력하고, 인체 공학적이며, 효율적인 etcher/asher 입니다. 다양한 조정 기능과 유연성을 갖춘 SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 매우 정확하게 제어하여 모든 에칭/애싱 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.