판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #293821688

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 은 반도체 제조를 위한 고급 생산성 및 프로세스 기능으로 설계된 모든 기능을 갖춘 etcher/asher입니다. 이 모델은 DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 및 CMP (Chemical Mechanical Polishing) 를 포함하여 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 지원하여 재료를 빠르고 정확하게 제거 할 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 툴을 갖춘 SEZ SP 4300 은 고수율 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다. LAM RESEARCH SP 4300은 열 센서 기술로 설계된 안정적인 공정 챔버로 제작되었습니다. 이 "챔버 '는 저압 이나 고압 으로 작동 할 수 있으며, 다양 한 온도 와" 가스' 혼합물 로 가장 까다로운 생산 작업 을 "에칭 '하거나" 애싱' 할 수 있다. 이 약실 은 또한 청소 할 수 있는 성분 들 로 설계 되어 "입자 오염 을 최소화 하였으며, 따라서 부가적 인" 클리닝 '주기 가 필요 치 않다. 챔버에는 높은 정확도의 석영 압력 트랜스듀서 (quartz pressure transducer) 와 에칭 및 애싱 공정의 정확한 제어를 위해 활성 ICR 기화기 (vaporizer) 가 장착되어 있습니다. 프로세스 챔버 위에, SP 4300 은 가장 높은 수율을 달성하기 위한 다양한 고급 프로세스 툴 (advanced process tools) 을 갖추고 있습니다. 기계에는 전송 서브 시스템 (Transport Subsystem) 이 장착되어 있으며, 이 시스템은 최대 속도와 신뢰성을 가진 프로세스 챔버 전체에 웨이퍼 카세트를 정확하게 전송하도록 설계되었습니다. SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 은 독점 알고리즘 및 소프트웨어를 사용하여 가스 흐름, 온도 및 기타 에칭/애싱 매개변수를 정확하게 제어하는 ECS (Automated Etch Control Equipment) 옵션을 제공합니다. 또한 프로세스 매개 변수에 대한 원격 모니터링 및 데이터 로깅을 지원하는 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 가 있습니다. 이 최첨단 시스템은 생산성을 극대화하는 기능으로도 설계되었습니다. SEZ SP 4300 에는 빠른 주기 시간 제어 시스템 (Rapid Cycle Time Control System) 이 장착되어 있어 처리량 향상을 위해 에칭 및 애싱 프로세스 시간을 줄일 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 로드록 장치 (advanced loadlock unit) 를 가지고 있으며, 작동 기기에 대한 최대한의 안전성과 함께 빠르고 안정적인 웨이퍼 로딩 및 언로드를 제공합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH SP 4300 (LAM RESEARCH SP 4300) 은 고급 프로세스 제어 및 생산성 기능을 갖춘 고가용성 etcher/asher 머신으로, 반도체 제작의 최대 수율과 정확도를 제공합니다. 저비용, 신뢰성 있는 운영, 탁월한 프로세스 제어 툴을 갖춘 이 모델은 모든 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다.