판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9366266
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SEZ/LAM RESEARCH SP 323은 반도체 및 FPD (평면 패널 디스플레이) 생산에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. 다양한 에치 및 스트립 스트립 화학 물질에 대한 자동 성능을 제공합니다. 이 다양한 장비는 고급 시스템 통합, 고급 프로세스 제어 및 다중 레벨 자동화를 갖추고 있습니다. SEZ SP 323 은 설치 공간이 작아 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 모듈식 설계는 컴포넌트를 신속하게 교환하여 분해 (Disassembly) 및 어셈블리 시간이 15 분 미만입니다. 이 장치에는 2 구역 분할 영역 반사 및 충격이 있습니다. 이를 통해 다양한 다이 및 모듈 크기, 프로세스 및 온도에 대한 기판 및 프로세스 균일성이 향상됩니다. 이 기계는 고속, 대형 챔버-챔버 운송 기능을 자랑합니다. 이를 통해 모든 레시피 조합에서 배치 프로세스당 최대 44 개의 모듈이 가능하며 IC 당 최대 4 개의 활성 모듈 (집적 회로) 을 수용 할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH SP323은 조절 가능한 고주파 전력 발전기를 갖춘 3 차원 플라즈마 임피던스 제어를 갖추고 있습니다. 또한, SP323 에는 각 배치 실행을 보다 정확하게 제어할 수 있는 고급 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 여기에는 강력하고 유연한 레시피 에디터 (Recipe Editor) 및 데이터 분석 소프트웨어 패키지 (Etch Process 의 완벽한 원격 제어 및 모니터링) 가 포함됩니다. 이 패키지는 또한 매개변수 튜닝 및 미세 튜닝 (fine-tuning) 기능을 허용하며, 이를 통해 에칭 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 마지막으로 SEZ SP323은 자동 온도 모니터링, 내장 안전 잠금 도구 및 Class I (옵션), Division II, 인증된 유해 위치 캐비닛을 포함한 향상된 안전 기능을 제공합니다. 따라서 자산은 모든 위험 환경에 이상적입니다. 요약하자면, SP 323 은 반도체, FPD 및 기타 생산 라인을 위해 설계된 etcher/asher 입니다. 이 제품은 작은 설치 공간, 모듈식 설계, 고속 전송 기능, 최적화된 에칭을 위한 고급 소프트웨어 패키지 등을 갖추고 있습니다. 또한, 향상된 안전 기능을 자랑하여 위험한 환경에 이상적입니다.
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