판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293757562

SEZ/LAM RESEARCH SP 323 은 사용자의 처리 요구에 유연하고 경제적인 툴을 제공하는 전문 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비입니다. 금속, 반도체, 유전체, 유리 등 다양한 물질의 고품질, 반복 가능한 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. SEZ SP 323 시스템은 작동하고 유지 관리하기 쉬운 안정적인 에칭/애싱 장치입니다. LAM RESEARCH SP323에는 고주파 플라즈마 발전기가 장착되어 있습니다. 이 강력 한 발전기 는, 얇은 층 과 구조 를, 선택한 기판 에 에칭 하는 데 사용 된다. 발전기는 필요한 에치 매개변수, 압력, 온도를 생성하며, 이는 플라즈마 가스 선택과 함께 다른 재료에 대한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 을 정확하게 수행 할 수 있습니다. LAM RESEARCH SP 323 (LAM RESEARCH SP 323) 에는 에칭 과정에서 기판 재료의 열 안정성을 지원하도록 설계된 난방 요소가 제공됩니다. 컴퓨터에는 자동 슬라이스 (auto-slice) 기능이 있어 각 레이어의 etch 매개변수를 자동으로 설정하여 여러 에칭 절차를 수행할 수 있습니다. 이 기능은 에칭 프로세스를 단순하고 효율적으로 합니다. SP323에는 여러 개의 멀티 스테이지 펌프, 진공 게이지, 밸브로 구성된 정교한 진공 공구 (vacuum tool) 가 장착되어 있어 한 단계, 안전하게 제어되는 진공 프로세스가 보장됩니다. 자동화된 레시피 제어 프로세스 (automated recipe-controlled process) 를 사용하면 일련의 레시피를 설정하여 프로세스 결과를 최적화하고 운영 시간을 단축하여 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 SEZ SP323의 터치 스크린 HMI를 사용하여 에칭 프로세스를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 터치 스크린 디스플레이는 압력, 온도, 가스 흐름 설정을 포함한 모든 프로세스 정보를 표시합니다. 또한 사용자가 편리하게 에칭 (etching) 프로세스를 모니터링, 설정, 제어할 수 있는 편리한 인터페이스를 제공합니다. SEZ/LAM RESEARCH SP323은 사용자에게 필요한 매개 변수, 프로세스 유연성, 복잡한 구조를 만들고 어려운 재료를 에치하는 정확성을 제공하는 일체형 에칭/애싱 (etch) 자산입니다. 이 모델은 광범위한 재료를 지원할 수 있으며, 복잡하고 고품질 (High Quality) 부품을 만드는 데 이상적입니다.