판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9217507

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ID: 9217507
Spin etcher, 8" (2) Shutter door load ports Open cassette with manual cassette loading Standard wafer handling with wafer backside and front side operation ATM407 Robot handling with CYBEROPTICS laser mapper Vacuum ceramic end effector single sided (2) ECO Grippers for wafer transfer Standard pin chuck 200/200/200 DIW Rinse arm N2 Dry arm Medium dispenser arm Single HEX heater Heat exchanger USF100 Ultrasonic flow meter (Chemical flow meter) Chemical cabinet (CDS) Integrated PDB Shutter load port open / Close motor controller missing Power: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz, 60 A 2010 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203은 최첨단 자동 기능과 빠르고 효율적으로 표면을 청소하는 강력한 기능을 갖춘 고급 etcher/asher 머신입니다. 매우 다양한 산업 공정에서 신뢰할 수 있고, 안전한 운영을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 다운타임 및 유지 보수 다운타임이 최소화되어 있는 '하드 서피스 (hard surface)' 를 자주 청소해야 하는 기업에 적합합니다. SEZ SP 203 은 금속, 플라스틱, 코팅, 유전체, 유리 등 다양한 재료를 처리할 수 있도록 매우 정밀한 자동 제어를 제공합니다. 온도 설정을 정확하게 제어할 수 있는 강력한 듀얼 주파수 (Dual-Frequency) LCD 패널과 챔버 내부의 온도를 조절하고 일관성을 유지하기 위한 내장 팬 (BIST) 이 장착되어 있습니다. 또한, 시스템의 성능이 떨어지기 시작하면 사용자에게 경고하는 자가 진단 시스템 (Self Diagnostic System) 이 장착되어 있어, 수리 및 유지 보수 담당자에게 가능한 한 빨리 정확한 정보를 제공할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH SP 203 (LAM RESEARCH SP 203) 에는 챔버 대기에서 폐기물을 제거하기위한 통합 배기 시스템이 장착되어 안전하고 효율적인 처리가 가능합니다. 안전 차단 (Safety Shoffs) 및 절연 격납기 (Insulated Containment Collar) 와 같은 내장 안전 기능은 사용자가 작업 중에 보호되는지 확인합니다. 그리고 균일 한 결과가 필요한 작업의 경우, SP 203 에는 PLC (Programmable Logic Controller) 시스템이 장착되어 있으므로 다양한 프로그래밍 가능 매개변수를 신속하게 저장, 편집, 실행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 기판 (substrate) 과 챔버 (chamber) 크기를 수용하도록 구성할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 구조 재료를 사용할 수 있습니다. 결론적으로 SEZ/LAM RESEARCH SP 203은 최첨단 자동 기능 및 최고 수준의 안전 기능을 제공하여 안정적이고 안정적인 성능을 제공하는 최고 수준의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 제공합니다. 강력한 구성, 일관된 온도, 구성 가능한 기능으로 SEZ SP 203 은 효율성 또는 전력 (power) 을 저해하지 않고 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다.
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