판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH SP 101 #9276809

SEZ/LAM RESEARCH SP 101은 습식 및 건식 에칭 모두를 위해 설계된 에칭 및 애싱 장비입니다. wafer surface passivation, wafer back-grinding 및 thin-film deposition과 같은 다양한 프로세스 R&D 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다. SEZ SP 101 은 SEZ/LAM 의 검증된 에칭 및 애싱 기술을 기반으로 합니다. 이 시스템은 향상된 프로세스 균일성과 반복성을 제공합니다. 통합 프로세스 하드웨어 및 유연한 소프트웨어 제어 솔루션을 통해 LAM RESEARCH SP 101은 반도체 웨이퍼, 나노 와이어, 태양 광 전지, 박막 장치 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. SP 101 은 정확한 프로세스 제어에 중요한 샘플 (sample) 환경을 정확하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 온도 챔버 컨트롤러 (Advanced Temperature Chamber Controller) 와 샘플 챔버 (Sample Chamber) 내에서 정밀한 온도 프로파일을 유지하여 최고의 프로세스 제어를 얻을 수 있습니다. 또한 SEZ/LAM RESEARCH SP 101은 통합 프로그래밍 가능한 전자 빔을 통해 정확한 에칭 매개변수를 제공합니다. 이를 통해 물질의 정확한 스퍼터링, 화학적 에칭 및 재싱이 가능합니다. 이 장치에는 깨끗한 스위핑 기술도 포함되어 있습니다. 이것은 더 나은 웨이퍼 청결을 가능하게하며, 추가 패턴화 및 박막 증착을 위해 부드러운 표면을 보장합니다. SEZ SP 101은 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 사용자 친화적입니다. 사용자는 GUI 를 통해 프로세스 레시피를 선택하고, 매개변수 에칭 (etching parameters) 을 입력하고, 프로세스 레시피를 저장하여 나중에 사용할 수 있습니다. 직관적인 GUI는 또한 효율적인 멀티 스텝 에칭 및 애싱 프로세스 제어를 허용합니다. LAM RESEARCH SP 101 (LAM RESEARCH SP 101) 은 연구 실험실의 요구를 충족시키기 위해 설계된 안정적이고 견고한 에칭 및 애싱 머신입니다. 이 기능은 정확한 프로세스 제어를 통해 정확한 박막 증착을 가능하게 하며, 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 향상시킵니다. 또한, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 설정을 단순화하면서 사용자가 나중에 사용할 수 있도록 프로세스 레시피를 저장할 수 있도록 합니다.