판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293830231

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6은 반도체 장치 제조를위한 금속 화 공정으로 적용 가능한 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 대용량 생산 응용 프로그램뿐만 아니라, 세밀한 라인 작업 (line work) 과 패턴 정의 (pattern definition) 가 필요한 애플리케이션에 적합합니다. SEZ RST 100-6은 최대 200mm x 200mm 기판 처리를 위해 설계되었으며, 기본 기능 크기는 0.35 um, 0.20 um까지 조절 가능합니다. 제공된 고해상도 저항 수준은 Si, SiO2, polysilicon, aluminum 및 aluminum oxide에서 미세 선을 에칭하는 것을 허용합니다. 이 장치에는 석영 또는 세라믹 서셉터 챔버가 포함되어 있으며, 석영 또는 세라믹 Cl2/O2 소스는 감광 저항과 다른 재료를 에칭하는 데 사용됩니다. LAM RESEARCH RST 100-6 (LAM RESEARCH RST 100-6) 은 보도에 재료를 첨부하지 않고 깨끗하고 고해상도를 생성하는 저압 저온 프로세스를 사용합니다. 이 기계는 정확한 온도 및 오존 제어를 제공하며, 처리량 증가를위한 판의 감마 노출 (gamma exposure) 을 제공합니다. 이 도구에는 또한 저압 및 저압 프로세스가 포함되어 있으므로 총 프로세스를 최대 10% 줄일 수 있습니다. 이 자산은 프로세스 일관성이 높으며, 스커밍을 최소화해야 하는 애플리케이션에 사용될 수 있습니다. 또한, 이 모델은 통합 비전 (Integrated Vision) 기술을 제공하여 실시간 모니터 및 인라인 (In-Line) 웨이퍼로 최적의 웨이퍼를 선택할 수 있으며, 정확도가 높아지고 폐기물이 줄어듭니다. RST 100-6은 ICAM (Integrated Computer-Aided Manufacturing) 장비 소프트웨어를 사용하여 제어하므로 워크스테이션에서 시스템을 네트워크로 제어할 수 있습니다. 전체적으로 SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 etcher/asher는 대용량 및 장기 생산 요구를 위해 설계된 고정밀 자동 유닛으로, 금속화 프로세스와 관련된 비용을 줄여 많은 반도체 장치 제작 애플리케이션에 적합합니다.