판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH MCM 203 #9387804

SEZ/LAM RESEARCH MCM 203은 높은 정확도, 정확도 및 반복 가능한 결과를 동시에 생성 할 수있는 고급 에칭/애싱 장비입니다. 이 시스템은 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스에 비용 효율적인 솔루션을 제공하여 IC (Integrated Circuit) 제조업체의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 1630 x 580mm의 작은 설치 공간으로 제공되며 표준, 최대 플레이트 크기는 425 x 425mm입니다. SEZ MCM 203은 특수 다 화학 기계 연마기를 사용하여 집적 회로를 에치 (etch) 및 패턴 (pattern) 하며, 연마 작용과 기계적 스크러빙을 사용하여 재료 레이어를 형성합니다. 전체 판 표면에 걸쳐 공구의 균일성은 정확한 접촉 제어 (Contact Control), 저전력 설정 (Low Power Settings) 및 제어 가속 (Controlled Acceleration) 을 통해 보장되어 처리량 및 수율이 높아집니다. 이 자산에는 박막 에칭 및 포토 esist 재싱을위한 부식 내성 ALD/CVD 플라즈마 펄스 모델이 장착되어 있으며, LAM RESEARCH MCM 203은 웨이퍼 클리닝 옵션도 제공합니다. 이 장비는 진공 내에서 6mbar까지 작동하며, 오염 제어 가능한 베이크 온도로 최대 500m/s를 가속합니다. MCM 203은 9KW 공랭식 RF 발전기 시스템으로 설계되어 다양한 기판에서 빠르고 반복 가능한 웨이퍼 이미징을 제공합니다. SEZ/LAM RESEARCH MCM 203은 대용량 생산 요구를 충족하도록 설계된 최고 수준의 etcher/asher입니다. 이 장치에는 자동 소화기, 경보기, 인터 록과 같은 강력한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 스테인리스 스틸, 실버 도금 구리, 페놀 에폭시 보드 등 최고 품질의 재료로 제작되었습니다. 이 툴은 운영 팁을 제공하고 장애가 발생할 경우 문제 해결 (Troubleshooting) 을 수행할 수 있는 전문 기술자가 완벽하게 지원합니다.