판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH FM 202 #9226924

SEZ/LAM RESEARCH FM 202 etcher/asher는 최첨단 디자인이 장착 된 고급 고정밀 처리 공간입니다. 이 단일 웨이퍼 처리 도구 (single-wafer processing tool) 는 설치 공간이 작으며 다양한 생산 및 연구 애플리케이션에 적합합니다. SEZ FM 202 etcher/asher는 9 인치, 300mm 또는 400mm 웨이퍼 캐리어, 통합 스크러버 및 전체 기능을 갖춘 제어 장비를 갖춘 컴팩트 한 디자인을 갖추고 있습니다. 용해 및 입자 오염 물질을 최소화하기위한 완전한 둘레 방패가 있습니다. 또한 단일 입구 (inlet) 연산자 인터페이스로부터의 자동 채우기 및 드레인 (drain) 기능이 있으며 전체 진단 제품군을 사용하여 닫힌 루프 처리를 지원합니다. LAM RESEARCH FM 202 etcher/asher는 광범위한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 대한 정확하고, 자동화되고, 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 또한 공정 크리티컬 응용 프로그램 (예: 고가용성 에칭) 에서 고가용성 프로세스를 수행할 수 있습니다. FM 202는 고급 기술을 통해 탁월한 에치 균일성과 기능 제어를 보장합니다. SEZ/LAM RESEARCH FM 202는 업계에서 가장 발전된 프로세스 제어 시스템 중 하나입니다. 모든 애플리케이션에 대해 최적의 처리를 보장하는 정교한 실시간 모니터링 시스템 (실시간 모니터링 시스템) 을 제공하며, 직관적인 온포인트 정보 (on-point information) 를 통해 운영 속도를 높이고 효율성을 높일 수 있습니다. 이 장치는 고객의 특정 요구에 쉽게 적응할 수 있으며, 사용자의 프로세스 기본 설정을 통합하도록 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). SEZ FM 202 etcher/asher도 뛰어난 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 제품은 가장 까다로운 환경을 해결하도록 설계되었으며, 안전 규정 (Safety Regulation) 을 준수합니다. UL 1604 인증, CSA 상장 및 CE 승인 LAM RESEARCH FM 202는 특수 사격 제어기, 고 리프트 보안 게이트, 대형 챔버로 안전하고 안전한 에칭 경험을 제공합니다. FM 202 etcher/asher는 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을위한 완벽한 선택입니다. 탁월한 성능, 정확한 프로세스 제어, 안전하고 효율적인 운영을 위한 고급 안전 (Safety) 기능을 제공합니다.