판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754189

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME은 최첨단 Etcher/Asher 장비로, 높은 화면 비율의 처리 어플리케이션을 위한 탁월한 프로세스 기능을 제공합니다. 3D IC, MEMS, 고급 논리, 혼합 모드 응용 프로그램 등의 고급 기술 노드에 적합합니다. 이 기계는 대규모의 4 "열 챔버 (thermal chamber) 설계를 갖추고 있어 볼륨 처리량을 높이고 주기 시간을 단축합니다. 높은 정밀도는 챔버 전체에 배치된 광 (optical) 및 기타 프로세스 제어 피드백 (feedback) 장치를 통해 유지되므로 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 고밀도 등방성 에칭 (isotropic etching), 고선택성 에칭 (high selectivity etching), 다중 레벨 에칭 (multi-level etching) 등 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 수용할 수있는 다양한 프로세스 모드가 있습니다. 이 시스템에는 2 개의 독립적 인 고급 변조기가 추가로 장착되어 있습니다. SEZ/LAM SEZ DV PRIME의 다중 필드 변조 기능은 기존 단일 필드 변조기보다 에칭 및 애싱 프로세스에서 더 높은 수준의 기능 수준 정확성을 제공합니다. 또한 고급 퍼지 논리 PID 제어 (advanced fuzzy logic PID control), 내부 각도 제어 (in-situ angle control) 및 반응성 에치 (reactive etch) 와 같은 고유한 기능을 통해 프로세스 제어 및 정확도를 높일 수 있습니다. LAM RESEARCH/LAM LAM RESEARCH DV PRIME은 고급 에칭 및 애싱 기능 외에도 프로세스 구성의 유연성을 통해 레시피를 최적화하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, in-situ RF Matching Module은 각 사이클에서 성공적인 일치를 보장하며, 빠르고 쉬운 레시피 사용자 정의 및 세밀한 튜닝을 지원합니다. 전반적으로 SEZ/LAM RESEARCH/LAM DV PRIME은 높은 종횡비 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 다기능 에처/애셔 장치입니다. 처리 능력, 프로세스 제어, 유연성의 고유한 조합으로, 3D IC, MEMS, advanced logic, mixed mode technologies 등 다양한 고급 어플리케이션에 이상적인 머신이 됩니다.