판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022266
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판매
ID: 9022266
빈티지: 2007
System, parts machine
Chemical supply module
Missing parts: robot, stage, computer
Type: CBM-Type B
Position 1: LD, ULD Ports
Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240)
Ionizer: Controller model 5024
Position 2: Buffer station
Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right
Robot arm: Al anodized
Ionizer: AeroBar model 5285 (e)
Horiba HF monitor CM-210
Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Ionizer: QuadBar 4630-DS
ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller
Position 10: PML4
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Ionizer: QuadBar 4630-DS
Position 11: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 12: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 13:
Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized
Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type
230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz
Max current: 2 A
Breaking capacity: 10,000 AIC
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38F는 반도체 산업을 위해 설계된 고급 고성능 에처/애셔입니다. 같은 선박에서 화학 및 플라즈마 처리 기능을 모두 제공하는 완전 통합 애셔 (asher) 입니다. 이를 통해 에처 (etcher), 애셔 (asher) 또는 다양한 응용 프로그램 (application) 으로 작동 할 수 있습니다. 고급형 에처/애셔 (etcher/asher) 는 정밀 증착 제어 및 에칭 된 기능의 균일성으로 빠른 사이클 시간을 갖습니다. 오존 기반 플라즈마 및 활기찬 이온 폭격을 사용하여 극도의 정확도로 표적 물질을 정확하게 에치합니다. 복잡한 3D 형상과 매우 얇은 필름 모두에서 작동합니다. SEZ DV-38F 의 독보적인 설계는 모듈식 다중 역할 개념 (modular, multi-role concept) 을 통해 각 모듈을 독립형 단위로 사용하거나, 보다 특화된 애플리케이션을 위한 복잡한 구성으로 다른 모듈에 연결할 수 있습니다. 강력하고 다양한 기능을 통해 금속 산화물, 실리콘, 화합물 질화물, 폴리 실리콘 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 광범위한 재료 및 화학 물질과 호환되므로 대규모 장치 제조를 위해 금속 산화물, 화합물 질화물, 텅스텐 및 폴리 실리콘 처리에 이상적인 도구입니다. 온보드 배송 시스템 (Onboard Delivery System) 을 통해 이러한 재료를 한 번에 동일한 프로세스 사이클 (Process Cycle) 로 추가로 처리하여 더 많은 생산 처리량을 제공합니다. etcher/asher에는 최대 4 개의 antechamber 문이 있으며, 처리 중 오염을 방지하기 위해 열리거나 닫을 수 있습니다. 또한, 인력 또는 처리 중인 장치에 아무런 피해가 없도록 하는 광범위한 안전 (Safety) 기능이 있습니다. LAM RESEARCH DV-38F (LAM RESEARCH DV-38F) 는 대규모 생산 처리량을 유지하면서 우수한 결과를 낼 수있는 최고급 에처/애셔입니다. 첨단 정밀 제어 (precision control) 와 효율적인 프로세스 사이클 (process cycle) 을 통해 고급 etcher/asher를 찾는 사람들에게 이상적인 도구입니다.
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