판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9054505

SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS는 이중 파동, 고속, 멀티 챔버 에처/애셔로 뛰어난 비용 효율적인 에칭/애싱 성능을 제공합니다. 고급 재료 가공 에처/애셔로 지정된 SEZ DV-38DS 시리즈는 생산 및 연구/개발 실험실에 이상적입니다. LAM RESEARCH DV-38DS 시리즈는 방향성 수직 및 접선 에칭/애싱 파를 모두 사용하여 각 배치에서 매우 균일 한 에칭/애싱 작업 프로세스를 제공합니다. 최첨단 열 관리 및 최첨단 냉각 기술을 통해 프로세스 반복성 (process repeatability) 과 균일성 (unifority) 을 극대화합니다. DV-38DS 시리즈는 하나 또는 두 개의 챔버 시스템을 갖춘 두 가지 구성으로 제공됩니다. 각 챔버에 여러 재료가 있는 부품의 독립적 인 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 허용하여 편리하고 지속적인 운영을 보장합니다. 고속 운영 및 최적화된 챔버 설계는 프로세스 처리량을 높이고 주기 시간을 줄입니다. SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS는 금속, 산화물 및 폴리머와 같은 재료의 정확한 에칭/애싱을위한 고급 컨트롤을 특징으로합니다. 여기에는 최대 정확도와 반복 성을 위해 온도, 가스 혼합, 압력, 챔버 크기를 제어하는 기능이 포함됩니다. SEZ DV-38DS에는 일관된 프로세스 결과를 보장하는 포괄적인 프로세스 모니터링 시스템이 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH DV-38DS 시리즈에는 HDP (High Density Plasma) 에칭/애싱 프로세스를위한 RF 소스도 포함되어 있습니다. HDP 에칭/애싱을 사용하면 고품질 표면 마무리와 높은 에칭/애싱 속도가 가능합니다. 또한 DV-38DS 시리즈는 HDP 프로세스 동안 증착 가스를 혼합하여 다중 구성 요소 예금을 허용하는 기능을 제공합니다. SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS 시리즈는 사용자 친화적으로 설계된 직관적인 운영자 인터페이스 (Intuitive Operator Interface) 로, 프로세스 설정 및 결과를 그래픽으로 표시하여 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한 프로세스 기록, 알라밍, 에칭/어싱 프로파일 등 다양한 진단 진단 기능을 제공합니다. SEZ DV-38DS Etcher/Asher 시리즈는 최고의 고급 에칭/애싱 솔루션입니다. LAM RESEARCH DV-38DS는 운영 및 연구/개발 실험실을위한 탁월한 에칭/애싱 성능을 제공합니다. 고급 제어 및 프로세스 모니터링을 통해 주문형, 반복 가능한 정확성, 신뢰성이 필요한 사용자에게 적합합니다.