판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #9276819

SEZ/LAM RESEARCH DV-38은 강력하고 고급 마이크로 애턴을 생산하는 데 사용되는 고해상도 에처 및 애셔입니다. 그것 은 "트랜지스터 '를 만들기 위한 반도체 제조 에 사용 되는데, 이것 은 전자 신호 를 생산 하는 데 작용 하는 부품 이다. 이 카세트 대 카세트 장비는 단일 실행에서 최대 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 전체 프로세스에 대한 웨이퍼의 정확한 정렬 및 움직임을 제공하기 위해 6 축 단계가 있습니다. 또한 최신 Plasma 제공 기술과 최고의 Vacuum Systems 중 하나가 제공됩니다. 이 시스템은 깨끗하고 세밀한 포토 사이스트를 제공 할 수 있습니다. SEZ DV-38 에는 cryo-pumped 진공 장치 (cryo-pumped vacuum unit) 지원이 장착되어 전체 프로세스 동안 웨이퍼에 대한 낮은 수준의 오염을 보장합니다. 또한 고정밀 가스 혼합뿐만 아니라 가스 주입의 자동 튜닝도 제공됩니다. 이 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 는 또한 광학적으로 깊은 구성 요소의 생산을 용이하게하는 장거리 소스 제어를 가지고 있습니다. 공정 제어 (process control) 측면에서, 이 기계는 에칭 및 패터링 프로세스를 매우 정확하게 제어합니다. LAM RESEARCH DV-38의 주요 이점은 짧은 주기, 매우 높은 해상도의 결과를 포함합니다. 이를 통해 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 구성 요소를 다룰 때와 같은 까다로운 프로젝트 작업에 이상적인 솔루션이 됩니다. 또한 다양한 자료와 호환되므로 다양한 응용 프로그램 (application) 에서 작업하는 데 이상적입니다. 또한 레이어 간 정렬, 3 차원 에칭 기능 및 여러 레이어를 동시에 처리할 수 있습니다. 요컨대, DV-38은 광석기 패턴을 생산하기위한 고급 에처이자 애셔입니다. 그 특징 은 정밀도 와 청결성 을 제공 하는 반면, 그것 은 여러 가지 재료 와 호환 되므로, 널리 사용 되는 것 에 이상적 이다. 짧은 주기 (cycle time) 는 가장 까다로운 프로젝트에 적합합니다.