판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #9211224

SEZ / LAM RESEARCH DV-38
ID: 9211224
Single wet etcher (8) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38 etcher/asher는 기판 에칭 및 재싱을위한 고성능 장비입니다. 이 시스템은 반도체 광전자, MEMS 및 관련 기술과 같은 연구 및 제품 개발 응용 분야에 이상적입니다. 실리콘, 이산화규소, 질화실리콘, 텅스텐, 알루미늄, 금 등 다양한 물질을 에치할 수있는 직관적 인 사용 편의성으로 유연성을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 구성성이 뛰어나 다양한 온도에서 에칭이 가능하며, 프로세스 시간 (process time) 을 제어하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계에는 Windows® 10 Pro 운영 도구가 있으며 8 개의 개별 프로세스 스테이션이 장착되어 있습니다. 독보적인 개방형 프레임 설계를 통해 구성 요소에 신속하게 액세스하고 유지 관리를 간편하게 수행할 수 있습니다. 에셋은 또한 정확한 에칭 프로세스를 위해 고급 (advanced), 고급 압력 (advanced pressure) 및 진공 제어 기능을 갖추고 있으며 실시간 온도 모니터링 모델이 장착되어 있습니다. SEZ DV-38 etcher/asher를 사용하여 전체 웨이퍼 또는 기판에 균일 한 에칭 속도를 달성 할 수 있습니다. 즉, 프로파일 제어가 정밀한 심도 (deep etching) 프로파일을 제공하며, 다른 재료의 에칭의 선택성을 제공합니다. 또한 유지 보수 비용이 낮기 때문에 TCO 가 매우 저렴합니다. LAM RESEARCH DV-38 etcher/asher는 정확한 에칭 및 애싱 프로세스가 필요한 모든 연구 및 제품 개발 응용 프로그램에 이상적입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 혁신적인 디자인 (design), 고급 제어 (advanced control) 가 모두 통합되어 강력하고 안정적인 장비를 만들 수 있습니다.
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