판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #9098878
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판매
ID: 9098878
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Etchers, 12"
Power: 400VAC / 3P+N , 63A, 50 / 60Hz
General data
Equipment platform:
(8) Chambers
Handling: Sankyo frontside
(1) Chemistry
Cassette loading:
Operator: Yes
Overhead transport system (OHT): Yes
Fab layout:
Through the wall: Yes
Front machine section:
Front frame:
(3) Load ports
Front section:
Robot & controller
Robot end effector
Main PC
Front FFU
Buffer station
Rear section:
General data for chemical blend module (CBM)
Material: FM-complaint (Mat.: PVDF)
Door hinges: Left
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Left
Position of monitor & keyboard: Left
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Rear section:
ECO
FFU
Control cabinet
Process section Left:
PSL 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
Gas facility box:
Regulators & MFC's
CDS:
Pump,valves, chemistry lines
General data for chemical blend module (CBM):
Material: FM-complaint(Mat.: PVDF)
Door hinges: Right
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Right
Position of monitor & keyboard: Right
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Process Section Right:
PSR 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
2006-2007 vintages.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38은 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수있는 에처 및 애셔로 일관된 고품질 처리 결과를 제공합니다. 이 장비는 단일/이중 챔버 구성으로 제공되며, 자동/수동 웨이퍼 장착 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 고속 선형 모터로 구동되는 3 인치 웨이퍼 척이 포함되어 있습니다. 척은 수평, 수직 및 양방향 이동이 가능하며, 이 장치는 0.005 "- 0.400" 의 웨이퍼-챔버 간격이있는 최적화된 에칭/애싱 프로파일을 제공합니다. SEZ DV-38은 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 위해 DWPS (Digital Wafer Positioning Machine) 와 닫힌 루프 서보 도구를 통합했습니다. 통합 프로세스 제어 및 모니터링 자산 (웨이퍼 온도 측정, 챔버 압력, 레시피 관리 포함) 이 있습니다. 이 모델에는 선택적 온도 (temperature) 및 흐름 컨트롤러 (flow controller) 가 장착되어 있어 정밀한 처리 조건과 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH DV-38은 표준 및 탐사 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 직관적인 연산자 (Operator) 인터페이스를 통해 빠른 설정과 작동이 가능하며, 장비는 프로세스 매개변수에 직접 액세스할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 확장 가능하도록 설계되었으며, 레지스트 스트립 (Resist Strip), 플라나라이제이션 시스템 (Planarization System) 등 다양한 주변 장치를 지원할 수 있습니다. 고압 및 저압 구성 (옵션) 을 사용할 수 있으므로 고압 프로세스의 경우 최대 10 torr까지 과압을 수행할 수 있습니다. DV-38 은 반도체 웨이퍼 처리에 사용되며, 고성능 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공할 수 있습니다. 이 제품은 실험적인 처리 (processing) 및 프로세스 개발을 위한 강력한 플랫폼을 제공하며, 배치 (batch) 또는 연속 (continuous) 프로세스 모드에서 실행할 수 있습니다. 이 장치는 설치, 유지 보수가 용이하며, 일관되고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다.
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