판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #293614772
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판매
ID: 293614772
Single wet etcher
Load port
Robot
EEF
CDA N2 Flow controller
Motor controller
CDS
Chamber
PC
Missing parts:
Qty / Part number / Make / Model / Description
(1) / 4002-5174-01 / BROOKS AUTOMATİON / - / Door cover
(1) / 2022937-00 / - / V115 / Valve, Way 3/2, UPM 3/4
(1) / 2300495-00 / - / V10-A / Valve, SG4-2C-6F
(1) / 2300495-00 / - / V104-B / Valve, SG4-2C-6F
(2) / 2308694-00 / - / RMB-10V2-SynqNet-4-24 V / 2-Phase
(2) / 2301159-00 / - / Combo board / Connection boards for MEI-RMB
(6) / 2016528-00 / - / - / Power amplifiers, DC Micro servomotor 4A
(2) / 2022357-00 / TELEM / ZBE / Actuator contacts
(1) / 2022356-00 / TELEM / ZB5 / Actuator rotary switch blue
(1) / 2022383-00 / TELEM / ZB5 / Actuator coupling, (3) Contacts
(2) / 2022388-00 / TELEM / ZBE / Actuator contacts
(1) / 2307202-00 / KVM / CAT5 / Extender, PS2 K434-1S
(1) / 2363669-00 / - / - / Keyboard, gender changer, With adapter
(1) / 2315418-00 / FLARETEK / 3 / Rotary pump
(12) / 2008086-01 / - / 300 / Excentric pin chucks
(1) / 853-308985-202 / - / - / NC-Chuck, 300/300/300-BF V1.2
(1) / 2316897-00 / - / - / Cables CF10, 8x0.25mm, (2) SH IGUS Chainflexes, DI Dispenser cable
(1) / 2315875-01 / - / - / DV Belt cover cast sledge drive unit, chuck belt cover.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38은 반도체 및 기타 다양한 산업 재료를위한 최첨단 에처/애셔입니다. 완전 자동 습식 에칭 머신 (fully automated wet etching machine) 은 우수한 부식 및 플라즈마 에칭 프로세스를 제공하기 위해 설계 및 제작되었습니다. SEZ DV-38은 스테인리스 스틸, 알루미늄 및 티타늄을 포함한 다양한 재료로 작동 할 수 있습니다. 최대 기판 에칭 속도, 고정밀 기판 간격 및 우수한 에칭 품질을 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH DV-38에는 E- 챔버 (E-chamber) 와 같은 고급 기능이 장착되어 있어 다양한 공정 가스 및 진공 수준을 사용할 수 있으며, 고정밀, 고가로 비율 에칭 프로세스를위한 P- 챔버가 가능합니다. DV-38에는 플라즈마 소스 (plasma source) 와 깊은 기판 에칭이 가능한 고출력 레이저 (laser) 도 장착되어 있습니다. SEZ/LAM RESEARCH DV-38의 고급 디지털 컨트롤 및 센서는 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다. 다양한 에칭 (etching) 애플리케이션에 적응할 수 있는 광범위한 프로세스 매개변수가 있습니다. SEZ DV-38은 수성 및 무수 에칭 공정 모두에서 사용될 수있다. 또한, LAM RESEARCH DV-38은 닫힌 루프 시스템 (closed-loop system) 을 사용하여 향상된 제어를 제공하며, 이는 에칭 중인 재료에 따라 에칭 매개변수를 자동으로 조정합니다. 이 닫힌 루프 (closed-loop) 시스템은 수동 입력 (manual input) 의 필요성을 줄여 수동 에칭 프로세스에 사용할 수 없는 정밀도와 정확도를 제공합니다. DV-38은 강력하고 신뢰할 수있는 에칭 머신으로, 최대 기판 에칭 속도, 높은 정확도, 뛰어난 에칭 품질을 제공합니다. 다양한 소재 (materials) 와 클로즈드 루프 (closed-loop) 시스템을 사용하여 작업할 수 있으므로 많은 에칭 응용 프로그램에 적합합니다. 즉, 고급 디지털 컨트롤 (digital control) 과 센서를 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있으므로 사용자가 최고의 품질의 에칭 (etching) 결과를 얻을 수 있습니다.
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