판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9351032

SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 고급 반도체 장치 생산을 위해 설계된 에처 (etcher) 또는 애셔입니다. 이 장비는 강력한 이온 빔 증착 소스 (ion-beam deposition source) 와 프로그래밍 가능한 위치 정확도를 가지고 있어 프로세스 일관성과 균일성을 보장합니다. 또한 프로세스 매개변수를 동적으로 조정하여 탁월한 처리량, 고밀도 플라즈마 에칭, 저입자 생성을 제공하도록 설계되었습니다. SEZ DV-34 는 DC, RF 및 열 프로세스를 사용하여 잠재적으로 복잡한 패턴을 신속하고 고해상도 에칭하는 완전 자동화 시스템입니다. 고급 빔 중심 증착, 활기찬 이온 빔 에칭 및 정확한 위치 제어를 사용하여 풀 웨이퍼 균일성을 달성합니다. EMC 의 독보적인 아키텍처는 운영 요구 사항을 충족하면서 다운타임을 최소화하는 통합 제어/자동화 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 반도체 장치 생산을위한 다양한 기능과 이점을 제공합니다. 사용 가능한 기판 레시피는 최소 설정 시간으로 안정적인 에칭 결과를 제공합니다. 모듈식 설계는 다양한 재료에 걸쳐 유연한 프로세스 개발 및 구현을 지원합니다. 또한 뛰어난 균일성 및 웨이퍼 등록 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 효율성이 높고 비용 효율적이며, 다른 모델에 비해 약간 더 높은 유창도를 사용합니다. 마지막으로, LAM RESEARCH DV-34 는 검증된 성능, 다운타임 감소, 생산성 최적화를 통해 툴의 가용성과 견고성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 아크 (arc) 와 방전 전압 (discharge voltage) 에 대한 보호, 입자 생성을 줄이기 위한 내장 이온 쉐이크 오프 기능 등 다양한 안전 기능을 지원합니다. 안정적이고 일관된 운영 성능을 보장하기 위해 이 자산에는 신속한 장애 감지 (fault detection) 및 복구 (recovery) 기능도 제공됩니다.