판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9267768

SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 정밀 asher/etcher로, 자동화된 2 온도 전달 장비를 사용하여 기판을 빠르고 안정적으로 처리하도록 설계되었습니다. 이 장치의 포괄적 인 디자인은 etch를 통해, etch를 통한 TMR, etch를 통한 TMR, 이중 damascene, 게이트 etch, 하드 마스크 etch, 계층 간 유전체 제거, 웨이퍼 백사이드 에칭 및 등방성 에칭을 포함하여 응용 프로그램의 표준 성능을 제공합니다. 이 장치는 프로세싱 안정성과 처리량을 향상시키기 위해 이중 온도 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 두 온도 스트림은 이상적인 에치 (etch) 또는 깨끗한 레시피를 달성하기 위해 독립적으로 프로그래밍 할 수 있습니다. 이것 은 상부 "플래튼 '과 하부" 플래튼' 에 고유 한 열 교환기 를 사용 함 으로써 수행 된다. SEZ DV-34 etcher/asher 장치에는 홍수 냉각기도 포함되어 있습니다. 냉각 도구 (cooling tool) 는 기판 표면을 더 빠른 속도로 균등하게 식히도록 설계되었습니다. 이를 통해 더 높은 정확도 에치 (etch) 및 깨끗한 레시피뿐만 아니라 향상된 수율을 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH DV-34에는 공정 가스 관리 자산이 장착되어 있습니다. 이 모델은 산소, 염소, 기타 부식성 가스와 같은 공정 가스의 정확한 조절을 허용합니다. 이 장비는 레시피를 단순화하고 프로세스 순도 및 제어를 향상시킵니다. 이 시스템의 챔버 개조는 빠르고 쉽습니다. 핫 월 디자인 (hot wall design) 은 챔버 무결성 (chamber integrity) 을 희생시키지 않고 빠른 개조를 허용하기 때문입니다. 이 DV-34 기능은 또한 개조 비용을 줄입니다. 이 분야의 공정 기술 역시 플라즈마 진단 (plasma diagnostics) 과 공정 개발 (process development) 을 쉽게 수행할 수 있다. 또한 SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 일련의 통합 컨트롤러와 인터페이스로 구동됩니다. 여기에는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 레시피 편집기 (레시피 편집기), 고급 통계 프로세스 제어 기능 등 다양한 제어 옵션이 포함됩니다. 이러한 기능은 생산성 향상과 프로세스 단순화에 기여하며, 공구 (High Tool) 생산성을 위해 프로세스 안정성을 향상시키도록 설계되었습니다. 마지막으로, 이 장치는 다양한 프로세스 린스 (process rinse) 및 제거 레시피 (purge recipe) 를 통해 뛰어난 장기 프로세스 안정성을 제공합니다. 퍼지 레시피는 오염을 줄이고 에칭 프로세스의 효율성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 이를 통해 운영자에게 에칭 (etching) 프로세스가 정상적으로 작동하고 있다는 추가 확신을 제공합니다. 결론적으로 SEZ DV-34는 다재다능하고 효율적이며 신뢰할 수있는 etcher/asher 기계입니다. 이중 온도 전달 및 홍수 냉각 시스템은 균일성을 보장하고 기판 정확도를 향상시킵니다. 또한, 지능형 소프트웨어와 강력한 프로세스 가스 관리 (process gas management) 를 통해 최적의 생산성을 위한 뛰어난 장기 프로세스 안정성을 보장합니다.