판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9224050
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SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 세즈 (SEZ) 가 반도체 산업의 높은 수요를 충족시키기 위해 설계 및 제조 한 고급 에처 및 애셔입니다. 다양한 프로세스 모듈을 지원하는 에치/애쉬 (etch/ash) 플랫폼으로, 사용자가 자신의 애플리케이션 요구에 맞게 기술을 혼합하고 일치시킬 수 있습니다. 프로세스 모듈은 Deep Silicon Etch, Silicon Selective Etch, SiGe Selective Etch, Sputter, Diffusion, Oxide Etch 및 Metal Etch입니다. SEZ DV-34 는 모션 제어, 프로세스 분석 기술, 프로세스 자동화 (Process Automation) 등 아트 프로세스 제어 기술이 적용된 지능형 툴입니다. 범용 플랫폼, 진단을 위한 네트워크 연결, 프로그래밍 가능한 프로세스 매개변수 세트 포인트, 맞춤형 레시피, 온도 조절 하드웨어 구성 요소 등을 통합하여 정확하고 반복 가능한 재료 처리를 보장합니다. LAM RESEARCH DV-34 (LAM RESEARCH DV-34) 는 사용자가 특정 제품 제작 요구를 충족하도록 툴을 구성할 수 있도록 이중 챔버 설계를 제공합니다. IEC (Indium End Point Sensing) 기술과 DVC (Advanced Digital Vacuum Control) 를 통해 사용자는 챔버 압력, 온도 및 프로세스 시간과 같은 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. DV-34 의 기능에는 통합 웨이퍼 처리 기능도 포함되어 있어 유연성이 극대화됩니다. LAM RESEARCH/LAM SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 높은 처리량 환경에서 사용하기에 적합하며, 더 빠른 주기와 더 높은 수율 속도를 제공합니다. 광범위한 프로세스 (process) 기능을 통해 연구 개발 (research and development) 에서 생산 (production) 에 이르기까지 다양한 사용자에게 매력적입니다. SEZ DV-34는 IC 및 MEMS 제조업체에 적합한 솔루션입니다. 유연성과 프로세스 제어를 극대화할 수 있도록 설계된 강력한 에치/애쉬 (etch/ash) 플랫폼입니다. 고급 기능, 신뢰할 수 있는 프로세스 결과, 견고한 설계 (Design) 는 최고의 수율과 최고의 정확도를 제공하는 데 필요한 안정적인 성능을 제공합니다.
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