판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9224049

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 9224049
빈티지: 2007
Single wafer etcher (4) Chambers 2007 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 다양한 반도체 처리 및 제작 작업을 위해 설계된 고급 박스 애셔/에처입니다. SEZ DV-34 는 실리콘 (silicon) 및 III-V 기반 장치를 모두 처리 및 에칭할 수 있으므로 다양한 산업 용도에 적합합니다. LAM RESEARCH DV-34는 독특한 특징과 구조로 인해 효율적이고 신뢰할 수있는 에처이며 애셔입니다. 그것 은 수직 구성 으로 "쿼츠 튜브 '로 구성 되어 있는데, 이것 은 사용 되는 재료 의 양 을 감소 시키고, 그 장치 의 수율 을 증가 시킨다. 많은 대용량 가스 버너 (gas burner) 에 의해 석영 튜브가 가열되고 다양한 센서에 의해 샘플링됩니다. 이 센서는 챔버 환경의 온도 및 기타 특성을 측정하여 최적의 애싱 (ashing) 및 에칭 (etching) 조건을 보장합니다. 내부 챔버 (internal chamber) 에는 전도 물질이 늘어서 챔버 전체에 균일 한 온도 분포를 보장합니다. 또한 원치 않는 호출을 방지하여 에칭 프로세스의 효율성과 정확성을 향상시킵니다. DV-34 (DV-34) 는 또한 치료 전반에 걸쳐 정확한 프로세스 제어를 위해 질소 및 산소 애셔의 흐름을 조절하는 고압 가스 제어 시스템을 특징으로합니다. SEZ/LAM RESEARCH DV-34에는 콜드 테스트를위한 프리 챔버 (pre-chamber for cold testing), 반사 방지 코팅, 아웃가스를 방지하기위한 트리플 월 구성, 비상 사태시 종료하는 압력 센서 등 다양한 통합 안전 메커니즘이 제공됩니다. 또한 SEZ DV-34 를 사용하면 가장 정확한 결과에 대한 프로세스 매개변수를 사용자 정의하고 프로그래밍할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 사용이 간편한 소프트웨어 패키지 (cycle temperature, pressure, gas flow 등 프로세스 매개변수) 를 수정할 수 있는 강력한 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 완벽한 프로세스 제어를 위해 다양한 업계 표준 센서, 모니터, 타이머, 소프트웨어 등과 호환됩니다. 전반적으로 LAM RESEARCH DV-34는 최신 기술을 갖춘 강력하고 신뢰할 수있는 박스 애셔/에처입니다. 효율성이 높고 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. '반도체 제작' 과 관련된 '산업 운영' 에 이상적인 선택이다.
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