판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9211222

SEZ PV-34는 다양한 고급 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 etcher/asher입니다. 이 장비는 고급 수준의 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 액체 플라즈마 애싱 (liquid-plasma ashing) 의 조합을 사용하여 모든 유형의 정확하고 효율적인 에치/애쉬 반도체 재료를 사용합니다. PV-34 (PV-34) 는 탁월한 에칭 성능을 제공하여 기판의 회로 데크의 크기, 모양, 수동을 매우 단단히 제어 할 수 있습니다. PV-34는 압력, 온도, 가스 혼합물 (gas mixture) 과 같은 프로세스 변수를 고려하여 에칭 프로세스를 실시간으로 적응적으로 조정 할 수있는 독특한 설계를 가지고 있습니다. 이렇게 하면 복잡한 모양에 대해 에치 (etch) 모양과 프로파일을 단단히 제어할 수 있고, 뛰어난 균일성을 제공하며, 처리 시간을 줄이고, 정확한 표면 품질과 반복성을 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 사용 가능한 가장 발전된 플라즈마 및 액체 에칭 기술을 완전히 포함하고 있으며, 플라즈마 밀도와 균일 성을 제어하기 위해 다양한 사료 가스 (feed-gas rate) 를 포함합니다. 또한, 이 장치에는 정확한 온도, 압력, 전원 설정과 더불어 에칭 (etching) 프로세스를 특정 작업에 맞게 조정하는 소프트웨어 (Control Suite) 가 장착되어 있습니다. 또한 PV-34 에는 경고 (Warning) 및 경보 메시지 (Alarm Message), 완벽한 데이터 저장 (Complete Data Storage), 웨이퍼 (Wafer) 를 도구 안팎으로 빠르게 이동, 실시간 로깅 자산 등 기계의 작동 및 유지 관리를 지원하는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 모델은 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 유연한 레시피 빌딩 툴 (Recipe Building Tool) 을 통해 완전한 프로세스가 자동화된 방식으로 수행되도록 보장합니다. 이 도구를 사용하면 레시피 (간단한 에칭에서 복잡한 패턴까지) 를 반복 사용하기 위해 만들 수 있으며, 효율성이 향상됩니다. 이 기능은 다양한 반도체 재료를 정확하게 에치 (etch) 하고 재 (ash) 하는 기능과 결합하여 PV-34를 고급 반도체 제조 요구를 위한 비용 효율적이고 안정적인 선택으로 만듭니다.