판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754186

SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 반도체 응용 분야에 사용되는 에처/애셔입니다. 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 클린 스퍼터 에칭 (clean sputter etching) 등 다양한 프로세스에 대해 완벽하게 통합된 자동화된 솔루션입니다. 이 장비는 검증된 100% 단면 및 양면 정밀 에칭/애싱 (etching/ashing) 기술을 활용하며 신뢰성이 뛰어난 하드웨어 및 소프트웨어 플랫폼을 갖추고 있습니다. SEZ DV-34에는 단일 및 양면 에칭/애싱을 모두 수행 할 수있는 1000 W 전자 빔 소스가 장착되어 있습니다. 시스템에서 제공하는 열 어닐링 기능으로 인해 실리콘 기반 재료에 적합합니다. 이 장치의 설계와 처리량이 높아 반도체 (semi-conductor) 업계의 고급 대용량 제조 및 어플리케이션에 적합합니다. 또한, 기계에는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수있는 정확한 제어 도구 (CC) 가 장착되어 있습니다. 자산의 지능형 모니터링 (Intelligent Monitoring) 기능을 사용하면 에칭/애싱, 시간 및 비용 절약 전에 기판의 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 프로세스는 사용자의 요구에 맞게 조정할 수 있으며, 보다 정확한 제어를 위해 에칭 (etching) 매개변수를 조정할 수 있습니다. 대화식 프로세스 제어 소프트웨어 (Interactive Process Control Software) 도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 상세한 프로세스 정보를 실시간으로 제공합니다. 사용자는 자동화된 키트 레이아웃 (automated kit layout) 을 만들어 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스가 원하는 응용 프로그램에 맞게 최적화되도록 할 수 있습니다. 본 소프트웨어의 데이터 분석 (data analysis) 기능을 통해 사용자는 프로세스 데이터를 분석하고 원하는 애플리케이션에 맞게 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이 모델은 또한 이중 챔버 (dual-chamber) 설계를 특징으로하며, 이를 통해 여러 에칭 프로세스 작업을 동시에 수행할 수 있습니다. 따라서 여러 개의 독립형 (Standalone) 시스템이 필요하지 않으므로 대규모 운영 환경에 특히 적합합니다. 이중 챔버 디자인은 에치 균일 성을 최대화하여 기판 사이에 최소한의 차이가 있는지 확인합니다. 이 장비는 SEMI 표준 200 (SEMI standard 200) 을 준수하도록 설계되었으며, 광범위한 Prober 호환 비품으로 다양한 고객 장비와 호환됩니다. 이 시스템은 또한 광범위한 평생 보증, 지원 및 마음의 평화를 제공합니다. 결론적으로, LAM RESEARCH DV-34 etcher/asher는 환경 영향을 최소화하면서 정밀 에칭/애싱 작업을 제공하는 고급 완전 통합 장치입니다. 이 기계는 강력한 e- 빔 소스 (e-beam source), 정확한 제어 기능 및 실시간 데이터 분석 기능을 갖추고 있어 대규모, 복잡한 어플리케이션에 적합합니다. 이 도구의 이중 챔버 설계, Prober 호환 장치 및 수명 보증 (Lifetime Warranty) 은 다양한 에칭/애싱 프로세스에 대한 신뢰할 수있는 솔루션입니다.