판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754180

SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 고성능 고급 재료 생산에 사용될 수있는 최첨단 에처/애셔입니다. 유기 (organic) 및 금속 (metallic) 재료 처리 시 최대의 유연성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. SEZ DV-34 etcher/asher는 고저항 쿼츠 튜브 및 용광로, 자동 가스 전달 장비 및 정밀 제어 에치/애쉬 시스템으로 제작되었습니다. 쿼츠 튜브 (quartz tube) 와 퍼니스 (furnace) 는 효율성과 공정 반복성을 높이기 위해 우수한 열 절연으로 구성되며, 자동 가스 전달 장치는 원하는 비율과 흐름에서 최대 10 개의 다른 공정 가스를 제공합니다. 에치/애쉬 머신 (etch/ash machine) 은 프로그래밍 가능한 정전식 결합 순간 (momentary) 을 사용하여 미세 한 제어를 제공합니다. 이것은 에치/애쉬 프로세스가 매우 정확하고 반복 가능하도록 보장합니다. LAM RESEARCH DV-34에는 또한 RIE (High-pressure Reactive ion etch) 기능이 있으며, 이를 통해 생산자는 더 두껍고 단단한 재료를 높은 정밀도로 가져올 수 있습니다. 이는 미세한 N 모양, 얇은 벽 (thin wall) 또는 기타 세부 피쳐로 컴포넌트를 생성하는 데 유용합니다. RIE는 또한 질화물, 폴리 실리콘 및 비정질 실리콘과 같은 물질의 에칭을 허용합니다. DV-34 etcher/asher에는 반응성 가스 활성화 (reactive gas activation) 가 제공되어 에칭의 프로세스 속도와 균일성을 높이는 데 도움이됩니다. 이 기술은 또한 표면 거칠기와 에칭 공정 (etching process) 에 의해 생성 된 폐기물의 양을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 SEZ/LAM RESEARCH DV-34에는 여러 고급 모니터링 및 진단 도구가 장착되어 있습니다. 여기에는 시청각 디스플레이, 온도 조절, 치수 컨투어링 기능, 프로세스 매개변수 추세 모니터링 (etch/ash 프로세스 반복 가능성 및 수익률 최적화) 이 포함됩니다. 이 에처/애셔는 상업용 생산 및 R&D 실험실 사용에 완벽합니다. 기판, 웨이퍼, 패널 등 여러 형식으로 고급 재료를 처리하는 데 이상적입니다. SEZ DV-34는 실제로 에칭 및 애싱 프로세스의 금 표준입니다.