판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293652632

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 293652632
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2007
Single wafer etchers, 8" - 12" (4) Chambers 2007 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 화학 에칭, 애싱 및 증착을 위해 설계된 Etcher/Asher 장비입니다. 고속 펄스 발전기, 온보드 지능형 컨트롤러, 정밀 가스 전달 시스템 등 고급 (advanced) 기술을 통합했습니다. 이 시스템은 현대적인 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적입니다. SEZ DV-34는 복잡한 에칭 및 증착 작업을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 즉, 정교한 기능을 통해 보다 효율적이고 정확하게 프로세스를 수행할 수 있습니다. 여기에는 고급 펄스 제너레이터 (pulse generator) 와 최대 20 개의 프로세스를 동시에 관리할 수 있는 온보드 지능형 컨트롤러 (Intelligent Controller) 가 포함됩니다. 또한 수동, 반자동, 완전 자동 등 3 가지 작동 모드를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 사용자 정의하고 반응을 완전히 자동화 할 수 있습니다. LAM RESEARCH DV-34는 또한 가스 동적 시스템 및 통합 가스 혼합 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 여러 개 의 "가스 '를 하나 의 통합 공정 으로 혼합 할 수 있는데, 이것 은" 스퍼터 코우팅', 화학 "에칭 ', 심지어 는 재 에 사용 할 수 있다. 또한, 기계는 분당 0.5 리터 ~ 분당 100 리터의 공기 유량을 처리 할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 단일 작업에서 발생하는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 의 양을 정확하게 제어할 수 있습니다. DV-34 는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 보다 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 광범위한 기술 라이브러리 (Technical Library) 를 통해 에셋의 설정과 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 따라서 사용자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 최대한 활용할 수 있습니다. 전반적으로, SEZ/LAM RESEARCH DV-34는 다양한 응용 프로그램에서 우수한 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 모델입니다. 이 제품은 강력하고 직관적인 기능을 제공하며, 통합된 가스 혼합 (gas-mixing) 및 동적 (dynamic) 기능을 통해 고유한 요구 사항에 맞게 프로세스를 빠르고 정확하게 사용자 정의할 수 있습니다. 따라서 SEZ DV-34 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비의 최고 수준의 정밀도, 제어 및 정확성이 필요한 사용자에게 이상적인 선택입니다.
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