판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH DaVinci DV Prime #9045178
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판매
ID: 9045178
Wet bench, 12"
(8) Chamber main frame, front side and backside processing
Ionization system
Filter fan unit
ISO Class 2
FM 4910 Materials
(4) Load ports
Protocol zone separation
Double side option for (2) chambers
(2) Double side DS chucks
Medium on top level double side
GEM Automation software
SMI S2 & S8 Standard
Flow monitoring and flow control
ECO End effector set
E 84 Parallel I/O
A-Jet option with DI for (2) chambers, internal supply
CO2 Enriched DI water for (2) process chambers
ASD 3: Dry option for spacer etch back for (2) chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DaVinci DV Prime은 반도체, MEMS 및 의료 기기 산업의 고급 다이빙, ablation 및 micromachining 애플리케이션을 위해 설계된 정밀 에칭 및 애싱 머신입니다. 극도의 정확성, 높은 처리량, 낮은 결함률로 SEZ DaVinci DV 프라임 (SEZ DaVinci DV Prime) 은 고급 에칭 및 애싱 프로세스의 경계를 푸시하려는 사람들에게 선호하는 선택이되었습니다. 이 기계는 고해상도 3축 동작 제어 장비 (High-resolution 3axis Motion Control Equipment) 를 갖추고 있으며, 초기 특성과 상관없이 모든 재료의 에칭 및 재싱에 대해 정확하고 반복 가능한 머시닝 프로세스를 제공합니다. 다빈치 (DaVinci) 의 내장형 광학 이미징 시스템을 사용하면 프로세스 모니터링을 정밀하게 수행하므로 프로세스 매개변수를 쉽게 최적화하여 정확하고 결함이 없는 부품을 생성할 수 있습니다. 또한, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스는 고급 모니터링 및 제어를 위한 독점 인터페이스를 통해 완전히 자동화 될 수 있습니다. 또한 이 시스템의 통합 소프트웨어에는 복잡한 형상의 자동 등록 시스템 (auto-registration system for complex geometries), 고급 모서리 인식 장치 (advanced edge recognition unit), 기존 프로세스를 재정의하기 위한 정확한 패턴 일치 기능 (pattern-matching) 등 다양한 추가 프로세스 관련 기능이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 유연성과 반복성을 극대화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 효율성을 극대화하기 위해 자동 로드 및 언로드 기계를 갖추고 있습니다. 오토로더 (Autoloader) 를 사용하면 대용량 부품 배치를 로드할 수 있고 언로드 (Unloading) 도구를 사용하여 부품을 에칭 및 애싱 매개변수에 따라 빠르게 정렬할 수 있습니다. 따라서 최종 제품의 품질이 가장 높고 결함이 없어집니다 (영문). LAM RESEARCH DaVinci DV Prime은 가장 엄격한 요구 사항도 충족하도록 설계된 다용도 및 신뢰할 수있는 도구입니다. 종합적인 기능 집합을 통해 사용자는 신뢰성, 효율성 (eching and ashing accuracy), 처리량 (throughput) 등의 새로운 표준을 설정할 수 있습니다. 이 기계는 가장 까다로운 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 고정밀도 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 이 필요한 모든 어플리케이션에 적합합니다.
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