판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 323 #293632548
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ID: 293632548
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Spin processor, 12"
Controller
Carrier station block, (4) FOUP
Process block
AC Power box
(2) Etchers
CDU
Temperature Control Unit (TCU)
Solvent supply system: (2) Tank auto supply systems with CSS
Direct drain
Heater tank
(4) SLQ-QT500 Flow meters
2003 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 323 etcher/asher는 인쇄 회로 기판, MEMS 장치 및 기타 반도체 부품을 에칭 및 세척하는 데 사용되는 고급 산업 장비입니다. 이 제품은 고속, 진공 구동 증기-과산화수소 애셔 (hydrogen peroxide asher) 와 결합 된 특수 에칭 용액을 사용하여 보드 표면에서 금속 퇴적물 및 기타 잔류를 빠르고 정확하게 제거하도록 설계되었습니다. RESEARCH SEZ 323 에처/애셔 (etcher/asher) 는 에칭 프로세스의 정확성과 속도를 극대화하기 위해 설계된 여러 가지 고급 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 특허를받은 3 면 밀봉형 공정 챔버가 있으며, 500W 소스로 구동되어 일관된 성능을 보장합니다. 내장 고속 드라이 에치/클린 (clean/clean) 및 액체 에치/클린 프로세스는 보드 표면에서 금속, 저항 및 기타 재료를 빠르게 제거 할 수 있습니다. 에치/클린 (etch/clean) 공정은 일관되고 반복 가능한 결과를 얻는 반면, 액체 에치/클린 (clean) 공정은 매우 얇은 금속 층과 저항을 제거 할 수 있습니다. RESEARCH LAM RESEARCH 323은 또한 마이크로 포인트 기술을 지원하여 웨이퍼 레벨 에칭 및 애싱을 가능하게합니다. 고속 애셔 (High Speed Asher) 모듈은 H2O2 플라즈마를 사용하여 뛰어난 제어 및 정확도로 높은 처리량을 달성합니다. RESEARCH 323은 또한 특허를받은 ISCCS (Integrated Surface Contamination Control System) 를 자랑합니다. ISCCS는 오염 물질을 추적하고 에칭/애싱 매개변수를 실시간으로 조정하여 예금의 균일성을 보장합니다. 또한 유지 보수 및 신뢰성을 위해 내장 물 역류 필터를 갖추고 있습니다. 또한 RESEARCH SEZ/LAM RESEARCH 323에는 사용자의 머시닝 작업을 사용자 정의할 수있는 다양한 옵션과 액세서리가 있습니다. 자동 설정 및 실시간 상태 모니터링을위한 통신 포트가 내장되어 있습니다. 구성 능력이 뛰어나며, 다양한 운영 요구 사항과 프로세스 조건에 부응할 수 있습니다. 또한, SEZ 는 다양한 지원 서비스를 제공하여 사용자가 etch/asher 를 최대한 활용할 수 있도록 합니다. 뛰어난 성능, 일관된 정확성 및 사용 편의성을 위해 SEZ 323 etcher/asher는 산업 수준의 에칭 및 애싱 (ashing) 작업에 적합한 선택입니다. PCB 설계자와 반도체 엔지니어의 요구를 충족하는, 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 솔루션입니다.
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