판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224043

SEZ/LAM RESEARCH 304는 고성능 반도체 처리에 이상적인 asher/etcher 장비입니다. 뛰어난 성능, 생산성, 충실도, 균일성을 제공하는 고급 LAMPAR ™ 기술이 특징입니다. SEZ 304는 LAM 전용 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 및 에칭 기술을 사용하여 에칭, 증착 및 저항/유전체 제거 프로세스를 통합합니다. 이 시스템에는 17 인치 투사 서셉터와 수동으로 조절 가능한 쿼츠 래더가 있습니다. 또한 정확하고 반복 가능한 에칭 프로세스를 가능하게하는 상위 레벨 진공 장치가 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 304는 ± 0.001 ° C/min의 반복 가능성을 가진 정확한 시간 기반 프로세스 제어 기계를 제공합니다. 이것은 제품의 품질과 안정성을 보장하기 위해 중요한 에칭 (etching) 애플리케이션에 필수적입니다. 304 에는 로컬 및 글로벌 온도 프로파일을 정확하게 제어하는 고온 균일성 패키지가 포함되어 있습니다. 이 기능은 기판 전체에 균등하고, 심지어 두께와 균일성을 만들어 장치 성능을 향상시킵니다. SEZ/LAM RESEARCH 304에는 완전한 프로세스 제어 및 데이터 로깅을 위해 고급 LAMResearch ™ Process Center도 설치되어 있습니다. 따라서 챔버 (chamber) 조건을 모니터링하여 공구 성능을 극대화하고, 제조 수율을 극대화하고, 프로세스 제어를 향상시킬 수 있습니다. SEZ 304는 고급 LAMPAR ™ 기술을 사용하여 초고속 해상도 프로파일과 에칭 프로세스의 균일성을 제공합니다. 이것은 에치 결과의 최고의 기판 에칭 품질과 재생성을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH 304는 최첨단 PLC 컨트롤러에 의해 구동되는 독점 LAM 관련 프로세스를 사용합니다. 이 자산은 호출 이벤트를 감지하고 예방하고, 드리프트 가능성을 최소화하고, 시간이 지남에 따라 안정적으로 유지됩니다. LAM 304 (LAM 304) 는 반도체 업계에서 성공적인 에칭 응용 분야의 역사가 입증되었으며, 대량 생산 및 연구 및 개발에 적합합니다. 또한 SEZ/LAM RESEARCH 304는 작동 및 조정이 용이하며 다양한 화학 물질 및 기판으로 작동 할 수 있습니다. 고급 LAMPAR ™ 기술, 고급 프로세스 센터 및 고온 균일성 패키지는 SEZ 304를 반도체 제조에 이상적인 도구로 만듭니다.