판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293652616

SEZ/LAM RESEARCH 304는 높은 처리율로 고품질 패턴 미세 구조 생산을위한 플라즈마 에칭/애싱 장비입니다. 실리콘, 유리, 금속, 질화물 등 다양한 물질에서 기질을 에칭 할 수 있으며, 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 광범위한 응용이 가능합니다. 제품 제조에 가장 높은 품질과 반복 가능한 결과를 제공합니다 (영문). SEZ 304는 기판을 쉽게 처리 할 수있는 자동 로봇 시스템을 갖추고 있습니다. 이 자동화된 프로세스를 사용하면 노출 시간이 최적화되어 반복 가능하고 정확한 에칭 (etching) 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 또한 에치 레이트 (etch rate) 를 제어하면서 기판 전체에 균일성을 제공하는 등 높은 정확도와 제어 (control) 를 제공합니다. 이 기계는 또한 인공물 (artifact) 이나 분사 효과 (run-off effect) 가 없는 패턴을 생산할 수 있습니다. 또한 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source) 가 장착되어 있어 높은 성능과 정확도를 제공합니다. 이 고급 소스는 고밀도 플라즈마 (plasma) 를 생성하여 에치 챔버 (etch chamber) 를 통해 기질로 향합니다. 이 고밀도 플라스마는 에치 속도를 최적화하여 고품질 에칭 구조로 변환합니다. LAM RESEARCH 304는 또한 다양한 재료에서 여러 기판을 순차적으로 에칭 할 수있는 멀티 존 (multi-zone) 공정 챔버를 특징으로합니다. 이 에셋을 사용하면 etch 프로세스 매개 변수를 제어할 수 있습니다. 이 모델은 또한 에치 레이트 (etch rate) 를 제어하는 데 사용되는 정교한 가스 전달 장비를 특징으로하며, 다양한 에치 화학 물질 (etch chemistry) 을 처리 할 수 있습니다. 또한 304에는 패턴화 된 에치 프로파일 (etch profile) 가장자리의 마이크론 (micron) 이하의 해상도를 제공하는 내장형 에지 이미징 프로파일러 (Edge Imaging Profiler) 를 포함한 고급 진단 기능이 있습니다. 이 시스템은 또한 내부 (in-situ) 모니터링을 제공하여 프로세스 매개변수를 최적화하여 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. SEZ/LAM RESEARCH 304는 처리율이 높은 고품질, 반복 식용 에칭 미세 구조를 생산할 수 있는 기능을 제공하여, 생산 처리율이 향상되고 궁극적으로 생산라인의 효율성이 향상됩니다. 이 제품의 특징과 기능은 제품 제조에 가장 높은 품질 (Quality) 과 반복 가능한 결과를 제공합니다.