판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9246717

SEZ / LAM RESEARCH 203
ID: 9246717
웨이퍼 크기: 6"-8"
Spin etcher, 6"-8" With chamber.
SEZ/LAM RESEARCH 203은 반도체 산업에서 고정밀 에칭 및 애싱에 사용되는 고급 에처/애셔 머신입니다. 그것 은 직경 200 "밀리미터 '의" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있는 완전 한 자동화 된 에칭 장비 이며, 매우 다양 한 재료 를 사용 하여 작업 할 수 있다. SEZ 203 은 운영자가 트리거하는 물리적 (physical) 및 화학적 (chemical) 에칭 프로세스를 조합하여 작동합니다. 고품질 에칭을 보장하기 위해 기계는 웨이퍼 (wafer) 에 각 장치의 정렬, 리프트 오프 마스크 적용, 마스크 정렬, 에칭 (etching) 에 노출된 영역의 위치 지정, 노출 된 영역의 에칭, 형성된 마스크의 리프트 오프, 에칭 솔루션 전송 등 정밀하게 프로세스의 모든 단계를 수행하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 203 (LAM RESEARCH 203) 은 모듈식 (modular) 설계를 통해 특정 에칭 요구 사항에 맞게 시스템을 구성할 수 있습니다. 여기에는 에치 깊이 (etch depth), 속도 (speed), 해상도 (resolution) 및 선택성 (selectivity) 과 같은 에칭 매개변수를 정확한 사양에 맞게 조정하는 기능이 포함됩니다. 고급제어시스템 (Advanced Control System) 은 사고 또는 고장 방지를 위한 정교한 안전장치를 갖추고 있다. 203은 소재 폐기물, 정확한 정렬, 높은 처리량, 고해상도 에칭 등 다양한 이점을 사용자에게 제공합니다. 또한, 이 기계는 사용자가 특정 에칭 (etching) 요구에 맞게 기계를 사용자 정의할 수 있는 고급 사용자 정의 기능을 자랑합니다. 또한 기계는 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 다양한 진단 및 자가 복구 (diagnostic and self-repairing) 기능을 통해 시스템 작동을 최적으로 유지할 수 있습니다. 이는 TCO (소유 비용) 를 최소화하고 장비 수명을 극대화하는 데 도움이됩니다. 요약하면, SEZ/LAM RESEARCH 203은 고급 etcher/asher 기계입니다. 이 제품은 고급 제어 도구, 종합적인 안전 자산, 모듈식 설계 (modular design), 유지 보수 편의성 등으로 반도체 업계의 고정밀 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 이상적인 선택입니다.
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