판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 200 #9211220

SEZ / LAM RESEARCH 200
ID: 9211220
Single wafer etcher.
SEZ/LAM RESEARCH 200은 다양한 정밀 처리 요구에 사용할 수있는 에칭/애셔 머신입니다. 사용이 매우 간편하며, 운영 매개변수 (operating parameter) 와 관련하여 최대의 유연성을 제공합니다. 이 기계는 반응성 이온 에칭 공정에서 작동하는데, 이 이온 에칭 공정은 반응성 가스 (reactive gas) 또는 가스 혼합물을 사용하여 기질에서 물질을 증발시킨다. 이 과정을 사용하여 부품, 마이크로 칩 및 기타 섬세한 부품을 정확하게 에치 (etch) 하거나 애셔 (asher) 할 수 있습니다. 이 시스템은 매우 민감하며, 상세하고 복잡한 생성을 쉽게 만들 수 있습니다. 에칭 또는 재시 부품은 정확한 치수와 완벽한 서피스 마무리를 갖습니다. '매우 정확한' 프로세스는 '프로세스 자동화' 에 도움이 되는 독보적인 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어를 통해 연산자는 에치 속도 (etch rate), 기판 온도, 가스 혼합물 등 다양한 매개변수를 빠르고 정확하게 프로그래밍 할 수 있습니다. 에치/애셔 (etch/asher) 는 하반부에 금속 캐비닛과 상반부에 플라스틱 인클로저 (plastic enclosure) 로 구성되며, 펌프 및 가스 제어 시스템은 장치 중앙에 설치됩니다. 이 제품은 실시간 프로세스 제어 및 모니터링을 제공하는 터치스크린 컨트롤러가 장착된 콘솔로 구동됩니다 (영문). SEZ 200에는 플라즈마/에칭 공정 (plasma/etching process) 을위한 내구성, 산업용 등급 진공 펌프 (vacuum pump) 와 정확한 가스 제어 옵션이 가능한 프로그래밍 가능한 가스 흐름 관리자가 장착되어 있습니다. 또한 가스 분석기 (gas analyzer), 조절 가능한 기판 홀더 및 평면 패널 화면이 내장되어 있어 운영자가 쉽게 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템은 모든 관련 건강 및 안전 (Health and Safety) 지침을 준수하며, 사용하기에 매우 안전합니다. 기계 는 유지 하기 가 쉽고, 모든 "파아트 '는 기계 의 하반부 에서 접근 할 수 있으며, 필요 하다면 쉽게" 파아트' 를 제거 하고 교체 할 수 있다. LAM RESEARCH 200 etcher/asher는 정밀성과 신뢰성으로 인해 반도체 및 관련 산업에서 널리 사용됩니다. 복잡한 부품의 빠르고 정확한 에칭/재싱 (etching/ashing) 을 필요로 하는 기업에게는 탁월한 선택입니다.
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