판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 101 #293758270

SEZ/LAM RESEARCH 101은 에처/애셔, 일종의 화학 에칭 및 에칭 레인 선택적 제거 장비입니다. 작은 기능, 특히 마이크로 일렉트로닉스, 반도체, 태양 광 발전소 산업의 처리에 일반적으로 사용됩니다. SEZ 101은 반도체, 금속, 중합체 및 산화물 필름을 포함한 재료의 에칭에 대해 정확하고, 재생성이 좋고, 유연한 시스템을 제공합니다. 이 장치는 3 개의 밀접하게 통합 된 구성 요소 (프로세스 챔버, 정밀 제어 장치 및 에치 헤드) 로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 에칭 작업에 필요한 밀폐된 환경을 제공하며, 생성 된 에치 잔기를 제거하는 강력한 배기 기계가 포함되어 있습니다. 정밀 제어 장치 (precision control unit) 에는 재료를 정확하게 에칭할 수 있도록 필요한 프로그래밍, 가열 및 제어가 포함되어 있습니다. 마지막으로, 에치 헤드 (etch head) 는 기판에 적용되는 전력 및 전류의 양을 정확하게 제어하여 패턴을 선택적으로 에치 (etch) 할 수있는 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH 101은 25 나노미터까지 기능 크기를 생성 할 수있는 강력하고 빠르지만 정확한 에치 엔진을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 아트 필터링 에셋 (art filtering asset) 의 상태가 포함되어 있어, 고품질 환경을 유지하면서 모든 크기의 에치 입자를 진공 실에서 배출합니다. 또한, 에치 모델 (etch model) 은 접촉, 금속화 및 격리 응용 프로그램에 사용될 수있는 재료와 피쳐를 정확하게 패턴화하는 기능을 제공합니다. 유연성과 정확한 에칭 기능으로 인해, 101은 집적 회로, 태양 전지, 미세 전기 기계 시스템 및 고급 연구 응용의 생산에 사용됩니다. 이 장비는 또한 여러 기판, 재료, 응용 프로그램에 대해 여러 프로세스와 워크플로를 지원할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 뛰어난 시야 이미징 라인 (Line of Sight) 기능을 제공하여 에치 프로세스 전후에 에치 패턴을 파괴적으로 평가할 수 있습니다. 전반적으로 SEZ/LAM RESEARCH 101은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 반도체 산업에 사용되는 다양한 재료를 에칭하기위한 강력하고, 정확하며, 유연한 솔루션을 제공하는 고급 에치 장치입니다. 고급 연구 및 생산 응용 분야에 사용되는 신뢰할 수 있고 경제적인 도구입니다.