판매용 중고 SEZ / LAM RESEARCH 100 #9211219

etcher/asher라고도하는 SEZ/LAM RESEARCH 100은 높은 처리량 기판의 인라인 또는 배치 처리를 위해 설계된 모듈 식, 다용도, 화학 처리 장비입니다. 이 시스템은 표면 청결, 웨이퍼 표면 실장 구성 요소 부착/분리, 웨이퍼 결합, 장치 캡슐화, 세라믹 코팅 및 다이 부착에 이상적입니다. SEZ 100은 에칭 및 애싱 (ashing) 을 포함한 다양한 응용 프로그램을 수행 할 수있는 다용도 장치입니다. 기계는 직경이 최대 6 "이고 두께가 25 미크론까지 기판을 처리 할 수 있습니다. 사용하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 자랑하며, 높은 정확도와 기타 감지 항목을 활용하여 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 도구는 완벽하고, 안정적이며, 반복 가능한 에치/애쉬 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 100 (LAM RESEARCH 100) 에는 다양한 기능이 장착되어 있어 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 부식성 액체를위한 특수 전달 자산 인 아쿠테름 (Acutherm) 과 조절 가능한 화학 분사 모델 인 플렉실로드 (Flexiload) 를 포함하여 화학적 전달을위한 여러 모듈이 있습니다. 이 장비에는 정밀 온도 제어, 프로그래밍 가능한 온도 경사, 용매 오버런, 열 소크 및 자동 열 커플 링 등 온도 제어 옵션도 있습니다. 또한, 시스템은 목욕 수명을 연장하고 프로세스를 반복 할 수 있도록 재순환 기능이 내장되어 있습니다. 100 은 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위한 올인원 (all-in-one) 솔루션으로 설계되었으며 기존 운영 라인에 쉽게 통합될 수 있습니다. 이 장치는 모듈식 설계와 다용도 설계로 인해 일관된 결과와 최소한의 다운타임으로 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 수행할 수 있습니다. 또한 첨단 기능을 통해 화학적 사용량 및 인건비 (인건비) 를 최소화하고, 기업에서 고성능 제품을 생산할 수 있습니다. SEZ/LAM RESEARCH 100은 높은 처리량 기판의 모든 인라인 또는 일괄 처리를 위한 안정적이고, 강력하며, 비용 효율적인 선택입니다. 이 기계는 사용자에게 친숙한 기능과 다용도 모듈 (versatile module) 을 통해 기판을 에칭/재싱하기 위한 신뢰할 수 있는 도구를 찾는 기업에게 이상적인 선택입니다.