판매용 중고 SES Sugai #9192009

SES Sugai는 웨이퍼의 고정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 제품은 여러 가지 전문 프로세스와 기능을 활용하여 정확성과 효율성을 보장합니다. 첫째, Sugai에는 고속 XY 스테이지와 웨이퍼 캐리어의 빠르고 정확한 이동을 제공하는 모션 컨트롤 장비가 장착되어 있습니다. 이를 통해 etcher/asher가 대상 웨이퍼를 빠르고 정확하게 스캔 할 수 있습니다. "스테이지 '에는 또한" 웨이퍼' 반송파 의 정밀 한 정렬 에 사용 되는 고급 "레이저 '" 시스템' 과 공정 의 속도 와 해상도 를 조정 하는 데 사용 된다. 둘째, SES Sugai는 고정밀 에칭 및 재싱을 가능하게하는 특수 가스 전달 장치를 사용합니다. 가스 전달 기계는 산소, Ar, N2 및 기타 가스의 정확한 조성을 제공하며, 지정된 가스 흐름 속도와 압력을 보장합니다. 이 도구 는 또한 "가스 '배달 선 의 오염 을 방지 하고" 웨이퍼' 의 효율적 인 에칭 과 재싱 을 보장 한다. 셋째, Sugai는 직접 에칭 및 애싱 프로세스에 사용되는 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 이 플라즈마 소스는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에 적합한 균일 한 저온 플라즈마를 생성합니다. 플라즈마 소스의 고 에너지 밀도는 더 높은 에칭 레이트 (etching rate) 와 개선 된 공정 속도를 가능하게한다. 마지막으로, SES 스가이 (SES Sugai) 에는 여러 세트의 프로세스 센서가 장착되어 있으며, 이는 에칭 및 애싱 프로세스의 다양한 매개변수를 모니터링하는 데 사용됩니다. 이러 한 "센서 '는 매우 정확 하며, 식각 과 발작 과정 중 에" 웨이퍼' 의 가열 과 냉각률, 압력, "가스 '흐름 을 정확 하게 제어 할 수 있다. 전반적으로, 스가이 (Sugai) 는 웨이퍼의 에칭 및 재싱을위한 고정밀 결과를 제공하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 특화된 기능과 기능을 통해 웨이퍼 처리 (wafer processing) 애플리케이션을 위한 강력한 툴이 됩니다.