판매용 중고 SEMIX / TOK TSE 360 #9068921

SEMIX / TOK TSE 360
제조사
SEMIX / TOK
모델
TSE 360
ID: 9068921
Plasma asher.
SEMIX/TOK TSE 360은 소전기 회로를 웨이퍼 및 기판으로 전송하는 데 사용되는 etcher/asherer입니다. 웨이퍼 레벨 패키징 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 스마트 에치 (Smart Etch) ™ 기술 (Smart Etch ™ 기술) 으로 알려진 특정 프로세스를 특징으로하며, 이는 화학 물질, 가스 융제 및 최고의 기능 해상도를 제공하는 능동 반응의 조합으로 구성됩니다. 이 Smart Etch ™ 프로세스는 photoresist 또는 자체적으로 사용할 수 있습니다. TOK TSE 360은 가장 작은 피치 "핫스팟" 에서 가장 큰 주변 기기에 이르기까지 다양한 웨이퍼 및 기판을 처리 할 수 있습니다. 여러 개의 에치 챔버 (etch chamber) 로 설계되어 동일한 작업으로 장치의 전면과 후면을 모두 처리 할 수 있습니다. 공정에 대한 정확한 화학 제어를 제공하는 정교한 가스 플럭싱 (gas fluxing) 모듈이 장착되어 있습니다. 또한, 필요에 따라 에치 레시피 (etch recipe) 를 빠르게 프로그래밍하고 조정할 수있는 고급 사용자 인터페이스가 제공됩니다. SEMIX TSE 360은 정확한 기능 해상도를 제공합니다. 고정밀 공구 아키텍처는 대부분의 기능이 설계대로 정확하게 재현되도록 합니다. 이것은 작은 노즐 디자인과 정밀한 가스 융화 화학의 조합으로 달성됩니다. 또한 Smart Etch ™ 기술은 지속적으로 깊이 변화를 줄이고 정확성을 향상시킵니다. TSE 360은 대용량 대용량 배치 생산에 사용하도록 설계되었습니다. 여러 기판을 동시에 처리할 수 있으며, 작업당 최대 600 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 대용량 에칭 용량으로 대용량 생산에 이상적입니다. 또한, 정확성과 정확성은 하이엔드 장치 제조에 적합합니다. 결론적으로 SEMIX/TOK TSE 360은 웨이퍼 레벨 패키징 응용 프로그램을 위해 설계된 etcher/asherer입니다. Smart Etch ™ 기술과 정교한 가스 플럭싱 모듈이 특징입니다. 이 제품은 정확한 기능 재생산을 제공하며, 여러 기판을 동시에 처리할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 TOK TSE 360은 대용량, 대용량 배치 생산에 이상적인 선택이 됩니다.
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