판매용 중고 SEMIX / TOK TCA 2600 #9068923

SEMIX/TOK TCA 2600은 다양한 생산 라인 응용 프로그램에서 사용하도록 설계된 etcher/asher 장비입니다. 자가 제어 (automated control) 와 수동 제어 (manual control) 를 모두 갖춘 독립형 통합 시스템으로, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어하고 작동할 수 있습니다. 이 장치에는 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성된 챔버 (Chamber) 와 가스 분배기 (Gas Distribution Machine) 및 프로세스 매개변수의 정확한 제어가 가능한 컨트롤러 및 밸브 세트가 있습니다. TOK TCA 2600은 강력한 마그네트론 소스를 사용하여 에칭 및 애싱에 사용되는 플라즈마를 생성합니다. "플라즈마 '로 생성 되는" 플라즈마' 가 일관성 있고 신뢰 할 수 있도록 "가스 ', 압력, 온도 등 여러 가지" 프로그램' 가능 한 "파라미터 '를 사용 할 수 있다. 또한 SEMIX TCA 2600 은 도구를 제어하고, 레시피를 설정하고, 실행하며, 프로세스를 모니터링하는 데 사용되는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. 이 자산은 운영 라인에 쉽게 통합되도록 설계되었으며, 다양한 통신 프로토콜이 지원됩니다 (영문). 이 소프트웨어 패키지에는 프로세스 데이터의 수집, 분석, 시각화 (Visualizing) 및 처리 레시피 개발을 단순화하는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 공정 챔버에는 압력 모니터 (pressure monitor), 진공 인터 록 (vacuum interlock), 경보 모델 (alarm model) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이들은 프로세스가 안전하고 안정적으로 실행되도록 설계되었습니다. 또한, TCA 2600 은 장비의 오작동 또는 이상을 모니터링하는 여러 가지 유지 보수 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로, SEMIX/TOK TCA 2600은 안정적이고 정확한 성능, 안전 기능 및 운영 라인에 쉽게 통합 할 수있는 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공하는 etcher/asher 시스템입니다. 이 장치는 일관성 있고 정확한 결과를 제공하도록 설계되었으며, 다양한 운영 애플리케이션 (production application) 에 이상적인 제품입니다.