판매용 중고 SEMITOOL Excalibur 2000 #9250097

SEMITOOL Excalibur 2000은 반도체 산업의 예술, 고성능 etcher 및 asher 상태입니다. 가장 높은 프로세스 균일성과 낮은 TCO (총 소유 비용) 를 제공합니다. 엑스칼리버 2000 (Excalibur 2000) 은 고급 자동 프로세스 제어 장비를 갖추고 있으며, 기판 결함을 최소화하고, 입자 오염을 줄이고, 프로세스 준수를 보장하도록 최적화되었습니다. 고급 에칭 기능을 통해 기판의 마스킹, 에치 깊이, 에치 속도, 평탄도 등을 정확하게 제어할 수 있습니다. 건조 (dry) 및 습식 (wet) 미디어를 모두 에치하고 예치할 수 있으며 탁월한 정확도로 탁월한 프로세스 반복성을 제공합니다. SEMITOOL Excalibur 2000은 전체 기판 범위를 따라 초고속 ± 1 ° C/min의 열적 균일성을 산출하여 일관된 프로세스 결과를 제공하는 동적 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 공정 정의와 제어 기능이 내장되어 있어 고수율, 고수율 반도체 생산에 유연성과 정확성을 제공합니다 (영문). 일관된 결과를 얻기 위해 Excalibur 2000은 최적의 프로세스 제어를 위해 조절 및 측정 할 수있는 탁월한 고순도 처리 가스를 사용합니다. 고급 냉각 시스템, 현장 온도 및 압력 센서 (in-situ temperature and pressure sensor) 를 실시간으로 모니터링하고 가스 손실을 크게 줄일 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 모니터링 및 보고 도구 (예: RF 생성기용 평생 모니터) 를 사용하면 중요한 매개변수를 모니터링하고 프로세스 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 통합 전원 공급 장치 모니터링 장치 (Integrated Power Supply Monitoring Unit) 를 통해 사용자가 생성기 출력 전원을 지속적으로 모니터링할 수 있으며, 문제가 발생할 경우 경고가 표시됩니다. SEMITOOL Excalibur 2000은 생산자에게 신뢰할 수 있는 결과, 낮은 소유 비용, 높은 처리 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 재순환 기계는 입자 축적 및 오염을위한 공정 챔버 및 펌프를 모니터링하고 청소합니다. 프로세스 정확성과 효율성을 갖춘 Excalibur 2000은 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 프로세스 단계를 위해 업계에서 제곱 인치당 가장 높은 처리량을 제공합니다.