판매용 중고 SEMIGEAR GENEVA STP300 #293760727

SEMIGEAR GENEVA STP300은 정밀 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 다용도 툴은 고급 (advanced) 기술을 결합하여 반도체 업계에 사용되는 광범위한 재료를 위한 고성능 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 제공합니다. 제네바 STP300 (GENEVA STP300) 은 직경이 최대 300mm 인 기판을 처리 할 수있는 견고한 플랫폼을 갖추고 있어 대용량 생산 환경에 적합합니다. 이 시스템은 다양한 프로세스 챔버 (Process Chamber) 와 모듈을 갖추고 있으며, 특정 처리 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있으며, 다양한 애플리케이션에 유연성과 확장성을 제공합니다. SEMIGEAR GENEVA STP300의 주요 기능 중 하나는 고급 플라즈마 생성 기능입니다. 이 장치는 고출력 RF 소스를 사용하여 정밀하고 균일 한 에칭 (etching) 과 재싱 (ashing) 을 달성하는 데 필수적인 고이온화 플라즈마를 만듭니다. 이 플라즈마 소스 (Plasma Source) 는 프로세스 조건에 따라 제어 및 최적화되어 프로세스 매개변수를 정확하게 튜닝하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 물질을 선택성과 균일성으로 에치 (etch) 하고 재 (ash) 하는 데 사용될 수있는 다양한 공정 기체 및 반응성 화학 물질을 통합합니다. 가스 배송 도구 (Gas Delivery Tool) 는 정확하고 일관된 흐름 속도를 보장하여 안정적이고 반복 가능한 처리 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 자산에는 프로세스 안정성과 일관성을 보장하기 위해 실시간 피드백 (feedback) 및 조정 (adjustment) 이 가능한 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 제네바 STP300 (GENEVA STP300) 은 운영자를 보호하고 효율적이고 안정적인 운영을 보장하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 자동 로드/언로드 (automated loading/unloading) 기능, 사고 방지 및 업계 안전 표준 준수를 위한 연동 시스템 및 안전 센서가 포함되어 있습니다. 또한, 이 장비는 유지 보수 및 서비스를 위한 간편한 액세스, 다운타임 최소화, 생산성 극대화를 통해 설계되었습니다. 전반적으로 SEMIGEAR GENEVA STP300은 반도체 산업을위한 고급 처리 기능을 제공하는 최첨단 etcher/asher 시스템입니다. 고성능 플라즈마 (Plasma) 세대, 정밀한 프로세스 제어, 고급 안전 (Safety) 기능을 갖춘 이 툴은 연구 개발 (Research and Development) 에서 대용량 생산에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 유연성, 확장성, 신뢰성은 반도체 제조업체에게 최적의 프로세스 성능, 생산성을 제공하고자 하는 최적의 선택입니다.