판매용 중고 SEC RV4640A #293751843

SEC RV4640A는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 장치 제조 공정을 위해 설계된 다용도 및 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 "시스템 '은 감광술사," 하드 마스크' 및 기타 박막 을 제거 하는 데 사용 할 수 있는 정밀 한 "플라즈마 '처리 기능 과 표면 수정 및 청소" 응용프로그램' 을 제공 한다. RV4640A (V4640A) 는 다양한 기판 크기와 재료를 수용할 수 있는 구성 기능이 뛰어난 플랫폼으로, 다양한 연구/운영 환경에 적합합니다. SEC RV4640A 의 주요 특징 중 하나는 첨단 플라즈마 (Plasma) 생성 기술로, 매우 균일하고 제어 가능한 플라즈마 처리를 가능하게 합니다. 이 장치는 고주파 RF 소스를 사용하여 공정 챔버 (process chamber) 에 플라즈마 (plasma) 를 생성하며, 이어서 기판 표면의 재료를 선택적으로 에치하거나 애쉬 (ash) 하는 데 사용됩니다. RF 소스는 다른 플라즈마 화학 물질을 생성하도록 튜닝 될 수 있으며, 이를 통해 에칭 (etching) 및 클리닝 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. RV4640A에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션 모두에 맞게 구성할 수 있는 다용도 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 이 챔버에는 효율적인 가스 대피를위한 고품질 진공 펌프 머신 (vacuum pump machine) 과 최적의 프로세스 성능을 위해 정확한 가스 흐름 제어 및 압력 조절 메커니즘이 있습니다. 이 도구에는 고급 온도 조절 (temperature control) 기능도 포함되어 있어 일관성 있는 처리 조건을 보장하고 플라즈마 처리 중 기판 손상을 방지합니다. 기판 호환성 측면에서 SEC RV4640A는 표준 4 인치, 6 인치 및 8 인치 기판을 포함한 광범위한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 자산은 실리콘 (silicon), 유리 (glass), 화합물 (compound) 반도체와 같은 다양한 기판 재료를 지원하므로 반도체 산업의 광범위한 응용 분야에 적합합니다. RV4640A 는 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 모델을 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장비의 소프트웨어에는 공통 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램을위한 사전 프로그래밍 된 프로세스 레시피와 특정 프로세스 요구 사항에 대한 사용자 정의 레시피를 만드는 기능이 포함되어 있습니다. 실시간 모니터링 (Real-time monitoring) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 기능은 중요한 프로세스 정보를 제공하며 프로세스 매개변수를 최적화하여 성능 및 재생성을 향상시킵니다. 안전 기능은 또한 SEC RV4640A 시스템에 통합되어 운영자 보호 및 장비 손상 방지 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 단위 매개변수를 모니터링하고 비정상적인 이벤트가 발생할 경우 자동으로 시스템을 종료하는 인터 록 (interlock) 과 센서 (sensor) 가 포함됩니다. 또한, 이 도구는 강력한 인클로저 및 배기 (exhaust) 에셋을 사용하여 플라즈마 처리 중에 생성된 유해한 부산물을 억제, 안전하게 제거할 수 있습니다. 전반적으로 RV4640A는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 장치 제조를위한 고급 플라즈마 처리 기능을 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 모델입니다. 다양한 디자인, 정확한 제어 기능, 사용자 친화적인 인터페이스를 갖춘 SEC RV4640A 는 고성능 플라즈마 (Plasma) 처리 장비가 필요한 연구/운영 환경에 이상적인 솔루션입니다.