판매용 중고 SCI AUTOMATION QML #9249237

SCI AUTOMATION QML은 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 박막 사진 촬영 및 반도체 장치 제작에 필요한 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 다중 에칭/애싱 헤드 (etching/ashing head), 다중 척 (multiple chuck) 시스템 및 다기능 프로그래밍 가능 작업 파일과 같은 고급 기술 기능을 사용하여 처리량을 증가시킵니다. 이 장치는 최대 4 개의 독립적 인 에칭/애싱 헤드로 구성되며, 마스크 패턴이 다른 여러 웨이퍼를 동시에 에칭 및 애싱 (ashing) 할 수 있습니다. 각 에칭/애싱 헤드는 특정 고객의 에칭/애싱 (etching/ashing) 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 에칭/어싱 프로세스가 사용 중인 특정 반도체 프로세스에 맞게 최적화됩니다. 여러 척 (chuck) 시스템을 사용하면 웨이퍼가 이동하고, 정확하고 안전하게 배치되므로, 적절한 방향 및 에칭 깊이를 달성 할 수 있습니다. 그 에 더하여, "척 '" 시스템' 은 여러 가지 크기 의 "와퍼 '를 에칭 하여 재 로 만드는 것 에 따라 조정 할 수 있다. 다기능 프로그래밍 가능한 작업 파일은 QML 시스템의 효율성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 이러한 작업 파일은 수행 중인 프로세스의 매개 변수 (예: 웨이퍼 크기, 에칭/어싱 헤드, 척 설정, 기타 설정) 를 구성하는 데 사용됩니다. 또한, 작업 파일은 고객의 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이를 통해 마스크 패턴이 다른 여러 웨이퍼를 동시에 불러올 수 있으며, 시간을 절약하고 효율성을 높일 수 있습니다. 전반적으로 SCI AUTOMATION QML은 혁신적인 에칭/애싱 (etching/ashing) 툴로서 처리량을 높이고 반도체 프로세스를 한 단계 높입니다. 이 기술을 통해 반도체 제조업체는 최적의 에칭 (etched) 및 애쉬 웨이퍼 (ashed wafer), 단계 감소, 모든 작업의 효율성 향상 등을 기대할 수 있습니다.