판매용 중고 SCI AUTOMATION CAM2 #9249239

SCI AUTOMATION CAM2 (SCI AUTOMATION CAM2) 는 적은 설치 공간으로 고품질의 마이크로패브릭을 빠르게 구현하도록 설계된 고급 에칭/애싱 장비입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자의 요구에 따라 유연성과 사용자 정의가 가능합니다. CAM2에는 화학 가공 용 웨트 벤치 (wetbench) 와 재싱을위한 실험 챔버 (experimental chamber) 가 포함되어 있습니다. 또한 잘 제어 된 마스크리스 및 기존 리소그래피, 습식 제트 및 화학 증기 에칭 (CVE) 을 수행 할 수 있습니다. SCI AUTOMATION CAM2는 직관적인 10 터치 LCD 화면에 의해 구동되며, GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 쉽게 시스템을 상호 작용하고 제어 할 수 있습니다. GUI 에서 구성할 수 있는 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 통해 사용자는 원하는 사양에 맞게 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 통합된 설계를 통해 외부 계측 (external instrumentation) 이 줄어들고 GUI를 통해 프로세스 매개변수 설정 시간이 절약됩니다. "웨트벤치 '에는" 에칭' 과 "애싱 '에 필요 한 온도 로 조절 되고 가열 되는 화학 저수지 가 들어 있다. 그 저수지 는 자동화 된 액체 처리 장치 에 부착 되어 있어서, 화학 물질 을 적절 한 비율 로 정확 하게 배달 하고 혼합 할 수 있다. 그렇다. wetbench의 다른 구성 요소로는 부식 방지, 재활용 폐기물 용기, 안전 패널, 자외선 소스가있는 노출 챔버 (exposure chamber) 가 있습니다. 노출 챔버에는 프로세스 모니터링 (예: 온도, 압력) 을위한 통합 센서가 있습니다. 애싱 챔버 (ashing chamber) 에는 안전하고 통제 된 분위기를 제공하도록 설계된 밀폐 된 인테리어가 있습니다. 작업자를 유해 물질, 조절 가능한 팬 속도, 온도 조절 도구 (Temperature Control Tool) 로부터 보호하기 위한 배기 장치 (Exhaust Machine) 가 있어 원하는 프로세스에 이상적인 온도를 유지합니다. 애싱 챔버 (Ashing Chamber) 에는 웨이퍼를 고정하기 위해 도가니 석영과 에칭 및 이동 웨이퍼를위한 듀얼 암 로봇 (Dual-arm robot) 이 장착되어 있습니다. 또한 CAM2에는 자동 예비 부품 처리, 빠른 샘플/기판 변경 및 빠른 열 처리 시간이 있습니다. 또한 온도 차단 자산, 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼, 화재 억제 모델 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 전반적으로 SCI AUTOMATION CAM2는 통합된 디자인과 강력한 안전 기능을 갖춘 고급, 사용자 친화적 인 에칭/애싱 (etching/ashing) 장비입니다. 직관적인 LCD 터치스크린과 사용자 정의 가능한 프로세스 매개 변수는 사용자에게 애플리케이션에 맞게 특정 프로세스를 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다. 광범위한 기능과 안정적인 성능을 갖춘 CAM2 는 까다로운 Microfabrication 작업에 이상적인 선택입니다.