판매용 중고 SCHMID Infinity Line #293605245

SCHMID Infinity Line etcher/asher는 다양한 산업 재료의 고급 처리를 위해 설계된 장비입니다. 이 시스템은 간단한 에칭 (etching) 및 애싱 프로세스 (ashing process) 에서 더 복잡한 표면 마이크로 구조 작업까지 다양한 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. Infinity Line 장치는 두 개의 기본 모듈로 구성됩니다. 단일 웨이퍼 에칭/애싱 프로세서 및 옵션 열 처리 장치. SCHMID Infinity Line 에칭/애싱 프로세서는 사용자 친화적 인 GUI (Graphics User Interface) 와 간편한 프로세스 제어 기능을 갖춘 컴팩트하게 설계된 기계로, 최고의 반복성과 재생성을 보장합니다. 이 도구는 빠른 스캐닝 에치/애쉬 챔버 (scanning etch/ash chamber) 와 별도로 장착 된 프로그래밍 가능, 삼축 (X, Y 및 B) 컨트롤러로 구성되며 샘플 위치 정확도는 1jm 미만입니다. 이 에셋을 사용하면 에칭/어싱 메커니즘의 온도, 전력 등 에칭/어싱 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 응용 프로그램 외에도, 인피니티 라인 (Infinity Line) 은 배치 모드에서 25 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 내장 메모리 스토리지 (내장) 를 사용하면 레시피를 저장하고 다시 실행하여 빠르고 문제 없는 처리를 수행할 수 있습니다. 슈미트 인피니티 라인 (SCHMID Infinity Line) 은 주파수 제어 드라이브 모터로 구동되며, 이를 통해 프로세스 속도 제어 및 정밀도를 제어할 수 있습니다. 또한, 프로세스 진행률을 모니터링하고 실시간으로 수차를 감지하기 위해 FM (Frequency Modulation) 측정을 사용할 수 있습니다. 인피니티 라인 에칭/애싱 프로세서 (Infinity Line etching/ashing processor) 에 연결된 열 처리 장치 (옵션) 를 사용하면 기판을 사전 처리 및 후 처리 할 수 있습니다. 이 모델에는 정확한 온도 조절 및 균일 한 열 처리를 보장하기 위해 비 접촉, 비 열, 피로미터가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 사용자가 Ar 및 N2와 같은 여러 열 처리 가스 (예: Ar 및 N2) 를 사용하여 기판에 열을 정확하게 전달 할 수 있습니다. SCHMID 인피니티 라인 에처/애셔 (SCHMID Infinity Line etcher/asher) 의 전체 디자인은 강력하고 광범위한 재료를 처리 할 수 있으며 매우 정확한 에칭 및 애싱 작업을 수행합니다. 이 장비는 반복 가능한 에칭/애싱 결과를 보장하며 열 처리에 대한 최적의 온도 관리 기능을 제공합니다.