판매용 중고 SCHMID Combi Line #9237970

슈미드 콤비 라인 (SCHMID Combi Line) 은 수동 개입이 필요 없이 플라즈마 에칭과 웨이퍼의 재싱을 모두 수행하도록 설계된 다기능 에처/애셔입니다. 장비는 에칭 챔버, 공정 가스 라인, 진공 장비 및 in-situ 플라즈마 소스를 결합한 단일 모듈 식 장치로 구성됩니다. 콤비 라인 (Combi Line) 의 에칭 챔버에는 내부 전극과 고온에서 편향되지 않은 이온화 된 가스를 생성하고 에치 손상을 최소화하고 프로세스 제어를 개선하는 하전 입자 빔이 장착되어 있습니다. 압력 및 공정 가스 흐름과 같은 조정 가능한 에칭 프로세스 매개변수는 PLC (programmable logic controller) 에 의해 제어됩니다. 이 장치는 최대 6 개의 웨이퍼를 병렬로 처리하도록 설계되었으며, 모든 표준 웨이퍼 크기와 호환됩니다. 위쪽 "디스크 '에 부착 된" 패드' 에 의하여 "웨이퍼 '가 가열 되어" 온도' 를 정확 하게 수동 으로 조정 할 수 있다. 에칭 챔버 (etching chamber) 중심의 내부 플라즈마 소스는 다양한 에칭 레시피에 대해 분리 가능하고 프로그래밍 가능합니다. SCHMID Combi Line의 APRS (Asynchronous Pressure Regulation System) 는 에칭 챔버의 압력을 제어하기 위해 자동으로 조정 될 수 있습니다. 외부 펌프를 사용하지 않고 장치를 에치 (etch) 하여 비용과 시간을 모두 줄일 수 있습니다. 이 장치 의 회전식 "애싱 '장치 는" 애싱' 과정 중 에 "웨이퍼 '를 균일 하게 가열 하는 장점 을 제공 한다. 이는 열 예산을 줄여 열 확산 (thermal diffusion) 으로 인한 민감한 계층 또는 구조의 손상을 방지합니다. 장비의 모듈식 설계는 신속한 유지 관리 및 교체를 용이하게 합니다. 전체 "머신 '은 소형" 플랫폼' 으로 만들어졌으며 단일 "에어록 '을 이용 하여" 웨이퍼' 를 빨리 옮긴다. PLC에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 레시피를 입력하고 실행하고 공구의 상태를 모니터링하는 데 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하는 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로 Combi Line은 단일 장치에서 확장 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 장비는 처리량 향상, 프로세스 제어 및 정확성 향상, TCO (총 소유 비용) 절감 효과를 제공합니다.