판매용 중고 SCHMID Blue 1100 #9006876

제조사
SCHMID
모델
Blue 1100
ID: 9006876
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2010
PECVD System Direct plasma source 370-440 kHz 88 wafer per tray, 1100 wafer per hr (based on 6" wafer) N2 SiH4, NH3 gases Vacuum supply and gas supply system included Abatement excluded PLC controlled, including recipe management Currently installed 2010 vintage.
SCHMID Blue 1100은 반도체 제조에 사용되는 화학 에칭 및 애싱 기계입니다. 이 제품은 4 "웨이퍼, 금속 및 MEMS, 고급 3D 패턴에 이르는 기판을 위한 효율적이고 안정적이며 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 기계에는 '스마트 칩 매칭 (Smart Chip Matching)' 이라는 고유 한 기술이 장착되어 칩이나 장치를 서로 완벽하게 연결하여 더 높은 처리량과 더 나은 수익률을 달성할 수 있습니다. 블루 1100 (Blue 1100) 은 최적의 흐름과 최고의 성능을 가능하게 하도록 설계된 올스틸 프레임으로 제작되었습니다. 이 프레임은 고온 작동 중에도 안정적인 구성을 보장하며, 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 이 챔버는 짝수 에칭 효과를 제공하도록 설계되었으며, IEC 61672-3 표준을 충족하여 청소실 운영을 승인했습니다. 또한 -10 ° C ~ + 54 ° C의 온도 변조를 견딜 수 있도록 테스트되었습니다. 이 기계는 고급 지능형 처리 시스템 (Advanced Intelligent Processing System) 으로 구동되며, 우수한 수율을 유지하면서 빠른 속도로 처리하도록 설계되었습니다. PID 온도 컨트롤러 (PID temperature controller) 를 장착하여 높은 온도에서 실행하고 온도 변동을 최소화할 수 있습니다. 또한 다양한 입/출력 카드, 열 프린터, 빠른 열 사이클링을위한 3 방향 밸브, 정밀 에칭 및 재싱을위한 기타 전용 구성 요소가 있습니다. 기계는 고급 냉각 시스템을 가지고 있으므로 최적의 프로세스 온도를 허용합니다. 또한, 냉각수 설계 는 "챔버 '주위 를 돌아다니며, 긴 공정 시간 과 고온 동안 에" 기판' 이 계속 유지 된다. SCHMID Blue 1100은 또한 주기의 최적화, 정확성 및 안전성을 향상시키는 지능형 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 또한 원격 (remotely) 방식으로 작동할 수 있으며, 생산이 유연하며, 사용자가 한 종류의 제품에서 다른 제품으로 빠르게 전환할 수 있습니다. 전반적으로 Blue 1100은 반도체 생산에 이상적인 에처입니다. 기능이 풍부하고 견고하며 청소실 작동을 위해 설계되었습니다. 생산량이 훨씬 많고 가변성이 낮은 대형 기판 웨이퍼를 처리하여 효율적이고 비용 효율적인 반도체 생산을 가능하게 합니다 (영문).
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